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=小鱼=

铜虫 (小有名气)

[求助] 电子束蒸发ITO 表面异常

各位朋友,最近在电子束蒸发ITO时候,经常发现表面有黑点。始终搞不明白是怎么产生的,希望大家一起帮助看看。
图片如下

成分分析未见差异,怀疑和材料结晶发面是否有关?、请指教啊!
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玉面小飞龙

木虫 (著名写手)

在网上找的  看看你可能存在哪些问题:

磁 控 溅 射 膜 常 见 故 障 的 排 除膜 层 灰 暗 及 发 黑
( 1 )真 空 度 低 于0 . 6 7 P a。 应 将 真 空 度 提 高 到0 . 1 3 - 0 . 4 P a。( 2 )氩 气 纯 度 低 于9 99 。 应 换 用 纯 度 为9 9.9 9%的 氩 气 。
( 3 )充 气 系 统 漏 气 。 应 检 查 充 气 系 统  排 除 漏 气 现 象 。
( 4 )底 漆 未 充 分 固 化 。 应 适 当 延 长 底 漆 的 固 化 时 间 。
( 5 )镀 件 放 气 量 太 大 。 应 进 行 干 燥 和 封 孔 处 理.

膜 层 表 面 光 泽 暗 淡( 1 )底 漆 固 化 不 良 或 变 质 。 应 适 当 延 长 底 漆 的 固 化 时 间 或 更 换 底 漆 。
( 2 )溅 射 时 间 太 长 。 应 适 当 缩 短 。
( 3 )溅 射 成 膜 速 度 太 快 。 应 适 当 降 低 溅 射 电 流或电压
4楼2013-05-11 18:14:08
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玉面小飞龙

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
氧分压不同会造成这种黑点现象吧?但是图中看起来像是比较大的晶粒

[ 发自手机版 http://muchong.com/3g ]
2楼2013-05-11 09:49:07
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=小鱼=

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 玉面小飞龙 at 2013-05-11 09:49:07
氧分压不同会造成这种黑点现象吧?但是图中看起来像是比较大的晶粒

根据履历记录 氧分压没有较大差异。。
3楼2013-05-11 18:08:17
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=小鱼=

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
4楼: Originally posted by 玉面小飞龙 at 2013-05-11 18:14:08
在网上找的  看看你可能存在哪些问题:

磁 控 溅 射 膜 常 见 故 障 的 排 除膜 层 灰 暗 及 发 黑
( 1 )真 空 度 低 于0 . 6 7 P a。 应 将 真 空 度 提 高 到0 . 1 3 - 0 . 4 P a。( 2 )氩 气 纯 度 低 于9 9 ...

这是Sputter的,我们是EB的啊
还是多谢你了
5楼2013-05-13 08:28:13
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