| 查看: 1108 | 回复: 6 | ||
[求助]
电子束蒸发ITO 表面异常
|
|
各位朋友，最近在电子束蒸发ITO时候，经常发现表面有黑点。始终搞不明白是怎么产生的，希望大家一起帮助看看。 图片如下  成分分析未见差异，怀疑和材料结晶发面是否有关？、请指教啊！ |
回复此楼» 猜你喜欢
北京石油化工学院特种弹性复合材料北京市重点实验室2026年研究生调剂招生公告
已经有0人回复
-
福建理工大学学硕调剂
已经有0人回复
-
冶金与矿业论文润色/翻译怎么收费?
已经有286人回复
-
欢迎调剂到长江师范学院苟铨课题组
已经有0人回复
-
浙大宁波理工学院考研调剂
已经有0人回复
-
材料调剂
已经有5人回复
-
河北科师有化学专业调剂名额，速速联系。
已经有0人回复
-
河北科师有化学专业少量调剂名额
已经有0人回复
-
河北科师沈老师课题组有调剂名额
已经有0人回复
» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 电子束蒸发硅用什么坩埚啊？
已经有11人回复
- ion-oxygen parameter是什么意思？
已经有4人回复
- 电子束蒸发镀膜和磁控溅射镀膜所得薄膜有什么区别？
已经有17人回复
玉面小飞龙
木虫 (著名写手)
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 4957.4
- 散金: 544
- 红花: 13
- 帖子: 2820
- 在线: 301.9小时
- 虫号: 540684
- 注册: 2008-04-06
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
2楼2013-05-11 09:49:07
3楼2013-05-11 18:08:17
玉面小飞龙
木虫 (著名写手)
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 4957.4
- 散金: 544
- 红花: 13
- 帖子: 2820
- 在线: 301.9小时
- 虫号: 540684
- 注册: 2008-04-06
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
|
在网上找的 看看你可能存在哪些问题： 磁 控 溅 射 膜 常 见 故 障 的 排 除膜 层 灰 暗 及 发 黑 ( 1 )真 空 度 低 于0 . 6 7 P a。 应 将 真 空 度 提 高 到0 . 1 3 - 0 . 4 P a。( 2 )氩 气 纯 度 低 于9 99 。 应 换 用 纯 度 为9 9.9 9%的 氩 气 。 ( 3 )充 气 系 统 漏 气 。 应 检 查 充 气 系 统 排 除 漏 气 现 象 。 ( 4 )底 漆 未 充 分 固 化 。 应 适 当 延 长 底 漆 的 固 化 时 间 。 ( 5 )镀 件 放 气 量 太 大 。 应 进 行 干 燥 和 封 孔 处 理. 膜 层 表 面 光 泽 暗 淡( 1 )底 漆 固 化 不 良 或 变 质 。 应 适 当 延 长 底 漆 的 固 化 时 间 或 更 换 底 漆 。 ( 2 )溅 射 时 间 太 长 。 应 适 当 缩 短 。 ( 3 )溅 射 成 膜 速 度 太 快 。 应 适 当 降 低 溅 射 电 流或电压 |
4楼2013-05-11 18:14:08
5楼2013-05-13 08:28:13
玉面小飞龙
木虫 (著名写手)
- 应助: 19 (小学生)
- 金币: 4957.4
- 散金: 544
- 红花: 13
- 帖子: 2820
- 在线: 301.9小时
- 虫号: 540684
- 注册: 2008-04-06
- 性别: GG
- 专业: 半导体材料
6楼2013-05-13 11:24:19
7楼2013-05-20 10:07:21
