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电子束蒸发ITO 表面异常
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各位朋友，最近在电子束蒸发ITO时候，经常发现表面有黑点。始终搞不明白是怎么产生的，希望大家一起帮助看看。 图片如下  成分分析未见差异，怀疑和材料结晶发面是否有关？、请指教啊！ |
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3楼2013-05-11 18:08:17
玉面小飞龙
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- 专业: 半导体材料
2楼2013-05-11 09:49:07
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在网上找的 看看你可能存在哪些问题： 磁 控 溅 射 膜 常 见 故 障 的 排 除膜 层 灰 暗 及 发 黑 ( 1 )真 空 度 低 于0 . 6 7 P a。 应 将 真 空 度 提 高 到0 . 1 3 - 0 . 4 P a。( 2 )氩 气 纯 度 低 于9 99 。 应 换 用 纯 度 为9 9.9 9%的 氩 气 。 ( 3 )充 气 系 统 漏 气 。 应 检 查 充 气 系 统 排 除 漏 气 现 象 。 ( 4 )底 漆 未 充 分 固 化 。 应 适 当 延 长 底 漆 的 固 化 时 间 。 ( 5 )镀 件 放 气 量 太 大 。 应 进 行 干 燥 和 封 孔 处 理. 膜 层 表 面 光 泽 暗 淡( 1 )底 漆 固 化 不 良 或 变 质 。 应 适 当 延 长 底 漆 的 固 化 时 间 或 更 换 底 漆 。 ( 2 )溅 射 时 间 太 长 。 应 适 当 缩 短 。 ( 3 )溅 射 成 膜 速 度 太 快 。 应 适 当 降 低 溅 射 电 流或电压 |
4楼2013-05-11 18:14:08
5楼2013-05-13 08:28:13