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如何用四探针测薄膜方阻
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如题，想用四探针测试买来的ITO玻璃的方阻，四个探针一字排开，间距相等，当使用不同电流时，得到的方阻至不同：计算公式Rs=4.532*V/I 当使用1x10-6A时，Rs=600~800 Ω/sq 当使用1x10-5A时，Rs=70~90 Ω/sq 当使用1x10-4A时，Rs=6~10 Ω/sq 当使用1x10-3A时，Rs=7~10 Ω/sq 可以看出，当电流较大时，测试出来的方阻与实际相似，但是这种方法应该与使用的电流无关，求解释！ |
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