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清之晨

铁虫 (小有名气)

[求助] 四探针测量AZO薄膜方块电阻

我用磁控溅射掺铝ZnO靶材（AZO）制备薄膜，可是制备出来的薄膜（在硅片上镀的大多呈紫色）用四探针怎么测不出来方块电阻呢（电流就在10微安有个数，量程再大就没数了，仪器应该没问题）？难道我把AZO制成高阻的了？哪位高手能帮忙分析一下呀，谢谢了
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1楼 2013-04-30 17:06:26
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清之晨

铁虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by nono2009 at 2013-04-30 17:24:47
这个问题更适合去相关专业版交流

额？新虫伤不起呀，看来要找对组织、、、
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3楼2013-05-01 09:29:37
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nono2009

超级版主 (文学泰斗)

No gains, no pains.

优秀区长优秀区长优秀区长优秀区长优秀版主
这个问题更适合去相关专业版交流
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2楼2013-04-30 17:24:47
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