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四探针测量AZO薄膜方块电阻
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| 我用磁控溅射掺铝ZnO靶材（AZO）制备薄膜，可是制备出来的薄膜（在硅片上镀的大多呈紫色）用四探针怎么测不出来方块电阻呢（电流就在10微安有个数，量程再大就没数了，仪器应该没问题）？难道我把AZO制成高阻的了？哪位高手能帮忙分析一下呀，谢谢了 |
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nono2009
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