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清之晨

铁虫 (小有名气)

[求助] 四探针测量AZO薄膜方块电阻

我用磁控溅射掺铝ZnO靶材(AZO)制备薄膜,可是制备出来的薄膜(在硅片上镀的大多呈紫色)用四探针怎么测不出来方块电阻呢(电流就在10微安有个数,量程再大就没数了,仪器应该没问题)?难道我把AZO制成高阻的了?哪位高手能帮忙分析一下呀,谢谢了
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nono2009

超级版主 (文学泰斗)

No gains, no pains.

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2楼2013-04-30 17:24:47
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清之晨

铁虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by nono2009 at 2013-04-30 17:24:47
这个问题更适合去相关专业版交流

额?新虫伤不起呀,看来要找对组织、、、
3楼2013-05-01 09:29:37
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