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四探针测量AZO薄膜方块电阻
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| 我用磁控溅射掺铝ZnO靶材(AZO)制备薄膜,可是制备出来的薄膜(在硅片上镀的大多呈紫色)用四探针怎么测不出来方块电阻呢(电流就在10微安有个数,量程再大就没数了,仪器应该没问题)?难道我把AZO制成高阻的了?哪位高手能帮忙分析一下呀,谢谢了 |
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nono2009
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