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请问,氧空位在氧化物半导体薄膜中的作用有那几个啊?我在文章中指出,氧空位可以充当载流子提高薄膜的导电性,也可以作为散射中心存在,减小薄膜的载流子。而编辑的意见是:There are so many roles of oxygen vacancy in the oxide system. |
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