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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 反应离子刻蚀聚苯乙烯球（Polystyrene PS球）反应机理是怎样的？
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shudream

新虫 (初入文坛)

[求助] 反应离子刻蚀聚苯乙烯球（Polystyrene PS球）反应机理是怎样的？

反应离子刻蚀法能刻蚀PS球，RIE中通入氧气后氧气在高电压下会电离，然后对PS球有刻蚀作用，氧气电离后对PS球的刻蚀是物理刻蚀，还是化学刻蚀，或者物理化学刻蚀都有，如果有化学刻蚀，这当中的反应方程式又是怎样的，请求各位大侠指导啊~~~~
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1楼 2013-04-27 11:14:22
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shudream

新虫 (初入文坛)
http://muchong.com/bbs/viewthread.php?tid=3395548
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3楼2013-05-14 16:40:56
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shudream

新虫 (初入文坛)
忘各位大侠能指导啊……
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2楼2013-04-29 20:24:48
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