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反应离子刻蚀聚苯乙烯球（Polystyrene PS球）反应机理是怎样的？
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| 反应离子刻蚀法能刻蚀PS球，RIE中通入氧气后氧气在高电压下会电离，然后对PS球有刻蚀作用，氧气电离后对PS球的刻蚀是物理刻蚀，还是化学刻蚀，或者物理化学刻蚀都有，如果有化学刻蚀，这当中的反应方程式又是怎样的，请求各位大侠指导啊~~~~ |
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