| 查看: 1361 | 回复: 2 | ||
[求助]
反应离子刻蚀聚苯乙烯球（Polystyrene PS球）反应机理是怎样的？
|
| 反应离子刻蚀法能刻蚀PS球，RIE中通入氧气后氧气在高电压下会电离，然后对PS球有刻蚀作用，氧气电离后对PS球的刻蚀是物理刻蚀，还是化学刻蚀，或者物理化学刻蚀都有，如果有化学刻蚀，这当中的反应方程式又是怎样的，请求各位大侠指导啊~~~~ |
回复此楼» 猜你喜欢
无机化学论文润色/翻译怎么收费?
已经有280人回复
» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
- 帮我看看基金评语我应该怎么修改
已经有4人回复
- 【求助】聚苯乙烯阴离子聚合问题
已经有19人回复
- 【求助】反应离子刻蚀的问题
已经有6人回复
2楼2013-04-29 20:24:48
3楼2013-05-14 16:40:56
