应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 半导体 » 求助：为什么我的半导体Si的电流密度很低
41/1返回列表
查看: 993  |  回复: 3
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

maomao_84116

捐助贵宾 (正式写手)

[求助] 求助：为什么我的半导体Si的电流密度很低

文献上看到别人单独的n-Si电流密度都在10+mA/cm2，为什么我的一直在0.2左右徘徊，伤心啊~~文献说是肖特基势垒影响，查阅后发现要消除肖特基势垒一方面改变背面接触金属，另一方面重掺杂改变表面状态形成欧姆接触；但是接触金属改了后还是不行，重掺杂后Si效率变得很低，请有经验的虫虫提供些建议，谢谢啊
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼 2013-04-23 17:03:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
maomao_84116: 金币+5 2013-04-28 14:32:19
1. 你怎么做的重掺？
2. 重掺后做欧姆接触的电极了吗？
3. 接触金属选的啥？
赞一下 回复此楼
2楼2013-04-23 20:49:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

maomao_84116

捐助贵宾 (正式写手)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-23 20:49:48
1. 你怎么做的重掺？
2. 重掺后做欧姆接触的电极了吗？
3. 接触金属选的啥？

掺P的片子是别人已经做好的，重掺杂后怎么做欧姆接触的电极？
赞一下 回复此楼
3楼2013-04-28 14:32:13
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
3楼: Originally posted by maomao_84116 at 2013-04-28 14:32:13
掺P的片子是别人已经做好的，重掺杂后怎么做欧姆接触的电极？...

做重掺后，沉积Ni，Al之类的金属，然后做退火。这时候硅的表面会形成一层金属硅化物，再沉积一层金属作为电极，就形成了欧姆接触。这时候再用金属探针测试，就不存在肖特基势垒了。

这类工作我们常做，你需要什么样的电极，可以定制的。
赞一下 回复此楼
4楼2013-04-29 00:12:15
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 maomao_84116 的主题更新
41/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭