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godchenkun银虫 (正式写手)
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[求助]
请问一个关于磁控溅射时冲入氮气或者NO气体的问题
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请问在磁控溅射生长氧化物薄膜的时候，想掺入少量N元素，冲入氮气有效果还是NO气体有效果？ 本人试过氮气，但是好像没掺进去，不知道NO是不是会有效果 |
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