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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 工艺技术 » 膜技术 » 请问一个关于磁控溅射时冲入氮气或者NO气体的问题
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godchenkun

银虫 (正式写手)

[求助] 请问一个关于磁控溅射时冲入氮气或者NO气体的问题

请问在磁控溅射生长氧化物薄膜的时候，想掺入少量N元素，冲入氮气有效果还是NO气体有效果？
本人试过氮气，但是好像没掺进去，不知道NO是不是会有效果
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1楼 2013-04-23 16:34:02
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