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关于粉末靶的使用问题
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请教一下各位大神 在做磁控溅射的时候 因为我们的靶材用的是铌酸锂的粉末陶瓷靶 没有加背套 所以担心它受热会裂开 之前因为不了解已经把一个氮化铝的陶瓷靶弄裂开了 所以想请问一下各位大神 在使用粉末陶瓷靶的时候应该怎么用~应该注意哪些事项~ 是否在溅射的过程中要不时将功率调下来让其有充足的时间冷却？ |
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