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Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿?
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| 我想请问下,我想生成一薄层(10nm左右)的氧化铝薄膜,是否可以用在空气中暴露的方法氧化,氧化完之后的氧化铝薄膜的质量怎么样?两边沉积金属电极之后加电压会不会击穿呢?谢谢大家的解答!! |
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chengqiankk
银虫 (小有名气)
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7楼2013-10-13 16:51:58
yswyx
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2楼2013-04-22 19:14:23
3楼2013-04-25 10:01:44
yswyx
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【答案】应助回帖
fbqrdzs: 应助指数+1 2013-07-07 11:05:46
|
真空腔不知道。 问题是你怎么解决真空腔中表面原生氧化层去除? |
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4楼2013-04-25 17:33:15













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xiaoxiao108