应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

CyRhmU.jpeg
小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 功能薄膜 » Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿？
51/1返回列表
查看: 2089  |  回复: 10
只看楼主@他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

xiaoxiao108

新虫 (初入文坛)

[求助] Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿？

我想请问下，我想生成一薄层（10nm左右）的氧化铝薄膜，是否可以用在空气中暴露的方法氧化，氧化完之后的氧化铝薄膜的质量怎么样？两边沉积金属电极之后加电压会不会击穿呢？谢谢大家的解答！！
回复此楼

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
1楼2013-04-22 08:11:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

chengqiankk

银虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by liaofang20 at 2013-07-06 17:21:06
既然是用pvd沉积铝膜，为什么不用反应溅射呢，直接沉积氧化铝膜。通过氧化的方法得到的氧化铝膜很薄，能耐压吗？本人正要做绝缘膜方面，楼主有进展后交流交流。

我也想把Al氧化一层作为绝缘层，在真空环境中通入O2加热，可以得到大约50nm厚的Al2O3绝缘层吗？？？？
赞一下 回复此楼
精于心，简于形
7楼2013-10-13 16:51:58
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
chemlh: 欢迎yswyx专家积极交流 2013-04-26 07:50:20
空气中形成的氧化层是非常疏松的。这个中学物理实验就已经做过了。沉积金属的话，直接会导通，根本谈不上击穿。
你这种膜应该用ALD来做。
赞一下 回复此楼
2楼2013-04-22 19:14:23
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

xiaoxiao108

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
2楼: Originally posted by yswyx at 2013-04-22 19:14:23
空气中形成的氧化层是非常疏松的。这个中学物理实验就已经做过了。沉积金属的话，直接会导通，根本谈不上击穿。
你这种膜应该用ALD来做。

谢谢您的回复！我想，空气中形成的氧化层疏松的原因是空气中有水分，引入了OH键吗？如果在真空腔中通入掺入一定氧气的氩气，这样热氧化形成的膜应该会是绝缘介质吧？ALD做工艺相对较麻烦，不是我想达到的效果。
赞一下 回复此楼
3楼2013-04-25 10:01:44
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖


fbqrdzs: 应助指数+1 2013-07-07 11:05:46
引用回帖:
3楼: Originally posted by xiaoxiao108 at 2013-04-25 10:01:44
谢谢您的回复！我想，空气中形成的氧化层疏松的原因是空气中有水分，引入了OH键吗？如果在真空腔中通入掺入一定氧气的氩气，这样热氧化形成的膜应该会是绝缘介质吧？ALD做工艺相对较麻烦，不是我想达到的效果。...

真空腔不知道。
问题是你怎么解决真空腔中表面原生氧化层去除？
赞一下 回复此楼

» 本帖已获得的红花（最新10朵）

xiaoxiao108
4楼2013-04-25 17:33:15
 已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 11 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭