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xiaoxiao108

新虫 (初入文坛)

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[求助] Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿？

我想请问下，我想生成一薄层（10nm左右）的氧化铝薄膜，是否可以用在空气中暴露的方法氧化，氧化完之后的氧化铝薄膜的质量怎么样？两边沉积金属电极之后加电压会不会击穿呢？谢谢大家的解答！！

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1楼 2013-04-22 08:11:45

已阅回复此楼关注TA 给TA发消息送TA红花 TA的回帖

yswyx

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【答案】应助回帖

fbqrdzs: 应助指数+1 2013-07-07 11:05:46

引用回帖:

3楼: Originally posted by xiaoxiao108 at 2013-04-25 10:01:44
谢谢您的回复！我想，空气中形成的氧化层疏松的原因是空气中有水分，引入了OH键吗？如果在真空腔中通入掺入一定氧气的氩气，这样热氧化形成的膜应该会是绝缘介质吧？ALD做工艺相对较麻烦，不是我想达到的效果。...

真空腔不知道。
问题是你怎么解决真空腔中表面原生氧化层去除？