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Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿?
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| 我想请问下,我想生成一薄层(10nm左右)的氧化铝薄膜,是否可以用在空气中暴露的方法氧化,氧化完之后的氧化铝薄膜的质量怎么样?两边沉积金属电极之后加电压会不会击穿呢?谢谢大家的解答!! |
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