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Al在空气中氧化形成的氧化铝薄膜是否容易击穿？
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| 我想请问下，我想生成一薄层（10nm左右）的氧化铝薄膜，是否可以用在空气中暴露的方法氧化，氧化完之后的氧化铝薄膜的质量怎么样？两边沉积金属电极之后加电压会不会击穿呢？谢谢大家的解答！！ |
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liaofang20
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真空腔不知道。 问题是你怎么解决真空腔中表面原生氧化层去除？ |
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xiaoxiao1084楼2013-04-25 17:33:15
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