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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 材料综合 » 材料化学 » 怎样测薄膜的化学成分
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15879046093

银虫 (小有名气)

[求助] 怎样测薄膜的化学成分

我做的薄膜厚度只有几十纳米，很难通过打能谱测薄膜的成分， 求助有没有好的方法可以测膜层的成分~~~~
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一串长长脚步前站着一个平凡的我
1楼2013-04-11 16:03:49
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15879046093

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 乌夜啼 at 2013-04-11 16:46:54
只能用XPS了，专门测量薄膜成分的，还可以确定化合价

不过我们学校没有光电子能谱仪
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一串长长脚步前站着一个平凡的我
3楼2013-04-11 16:57:23
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乌夜啼

铁虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
15879046093: 金币+10, ★★★很有帮助, 谢谢你的回复 对我有用 2013-04-11 16:56:12
只能用XPS了，专门测量薄膜成分的，还可以确定化合价
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君子藏器，待时而动；穷则独善以垂文，达则奉时以骋绩！
2楼2013-04-11 16:46:54
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icm639

至尊木虫 (知名作家)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
15879046093: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-04-11 21:13:54
xps  还可以通过测试其他跟组分相关的性质参数来帮助确定
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4楼2013-04-11 17:00:00
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jlsdwlxsc

铁杆木虫 (职业作家)

【答案】应助回帖

★ ★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
感谢参与，应助指数 +1
15879046093: 金币+8, ★★★★★最佳答案, 谢谢你的回复 对我有用 2013-04-12 19:45:19
采用XRD测试，由于薄膜很薄，采用小角度掠入射，增加X射线在样品中的行程，这样可以增加参加衍射的晶粒数量，就可以测出相应物相的衍射峰，然后通过PDF卡片的比对就行。我们课题组好多同学都是这么做的。有的薄膜厚度更薄都可以测出来。
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5楼2013-04-12 09:07:08
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