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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 化学化工区 » 电化学 » 腐蚀防护 » [请教]金上镀铜的问题
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cooboo

木虫 (著名写手)

磁虫

[交流] [请教]金上镀铜的问题

我在在200nm厚的Au Seed layer上镀Cu，但在2mA/cm2的电流密度下却总也镀不上，同样条件下在Cu的镀很正常。我想请问，是不是能够镀上的最小电流值要大于2mA/cm2？我怎么才能从理论上计算这个值？谢谢。

最佳答案赠送3个金币，其余两个赠送给另外两个答案以示感谢！

[ Last edited by Rainycc on 2009-3-6 at 10:57 ]
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1楼 2007-08-22 17:04:42
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picaroon

金虫 (小有名气)

你可以先扫一个循环伏安！

★ ★
allsw(金币+1,VIP+0):谢谢！
cooboo(金币+1,VIP+0):谢谢！
你可以先扫一个循环伏安曲线，根据循环伏安曲线发生沉积的区域，用电流除以面积，就是你的工作电流。你沉积不上是否跟你的基体金的表面有氧化层有关？你选用的基体面积是否一样？
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2楼2007-08-22 23:27:26
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cooboo

木虫 (著名写手)

磁虫
引用回帖:
Originally posted by picaroon at 2007-8-22 15:27:
你可以先扫一个循环伏安曲线，根据循环伏安曲线发生沉积的区域，用电流除以面积，就是你的工作电流。你沉积不上是否跟你的基体金的表面有氧化层有关？你选用的基体面积是否一样？

谢谢。不过，我不是想测这个工作电流。我是用potentiostat做的试验，可以控制恒流，电流值是我给定的。

我的课题是希望电流密度越小越好，但是是不是如果太小了就镀不上去了，我怎么能知道这个最小的电流？另外，Au也氧化吗？因为之前没有什么去氧化处理过程。但是，同样的条件下（未处理），在4mA/cm2的电流密度下就可以镀得上，而在1mA/cm2及2mA/cm2的电流密度下却镀不上。
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3楼2007-08-22 23:45:40
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Oo熊熊oO

银虫 (正式写手)
虽然偶还没想到原因，但是可以先帮你顶下，呵呵……
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坚持就是胜利!
4楼2007-08-23 01:30:04
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zhhui0909

金虫 (小有名气)
★
cooboo(金币+1,VIP+0):谢谢！
电沉积时有个过电位，小于这个过电位是沉积不上的。
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5楼2007-08-23 08:00:38
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wwwbad88

木虫 (著名写手)
★
allsw(金币+1,VIP+0):积极应答，鼓励一下！
这可能与金属的表面结构有关,Cu与Cu之间的晶格结构一样，而Cu与Au之间的结构差异较大,所以附着力肯定要小的多,试着对Au进行粗化处理一下!
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6楼2007-08-23 08:39:08
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cooboo

木虫 (著名写手)

磁虫
引用回帖:
Originally posted by zhhui0909 at 2007-8-23 00:00:
电沉积时有个过电位，小于这个过电位是沉积不上的。

我在沉积时使用了标准的KCl reference electrode，可以实时记录电势对时间的变化曲线，是不是这个电势值减去能斯特电势就是过电位？
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7楼2007-08-23 16:52:00
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林02921322

铁杆木虫 (著名写手)
★ ★
allsw(金币+1,VIP+0):做科研，有时就是要从不同的角度考虑一下问题！不错！
cooboo(金币+1,VIP+0):谢谢！
把金表面采用什么方法进行表面预处理一下试试.
还有你的参比电极向溶液中引入了氯离子也可能影响镀铜效果,改用饱和硫酸铜参比电极试试.
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8楼2007-08-23 17:05:20
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ru0629

金虫 (正式写手)
★ ★
allsw(金币+1,VIP+0):鼓励一下，继续努力！
cooboo(金币+1,VIP+0):谢谢！
1.you should check Cu/surfuric ratio . For your case you had better try copper  sulfate 200g/L surfuric acid 100 g/L.
2.YOU had try plasma dry etching to clean residue of photoresist .
3.You had better try higher current density with better agitation .
4 Some plating additive shoud be add .
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9楼2007-08-23 23:20:20
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fb8726

银虫 (初入文坛)
★
cooboo(金币+1,VIP+0):谢谢！
个人觉得首先你的电镀液是否能够镀在其它基质上，我觉得不是金的问题，如果镀液没问题应该稍微增加电流试试，做做单因数试验。
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10楼2007-08-24 12:41:33
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