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1.you should check Cu/surfuric ratio . For your case you had better try copper sulfate 200g/L surfuric acid 100 g/L. 2.YOU had try plasma dry etching to clean residue of photoresist . 3.You had better try higher current density with better agitation . 4 Some plating additive shoud be add . |
9Â¥2007-08-23 23:20:20
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