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yshit

木虫 (小有名气)

引用回帖:
5楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-03-02 18:33:53
个人觉得唯一方法就是自己摸索
  因为磁控溅射这玩意在化学计量比控制上就是这样,哪怕你事先知道你化合物的溅射产率 和 你金属的产率,实际实验情况和你计算情况也会有很大差异。
  而且即使有人跟你做过同样的 ...

说的太好了,我正用双金属靶反应溅射,无比纠结啊。
秋天到了
11楼2013-03-08 11:10:44
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HHBWF

禁虫 (小有名气)

本帖内容被屏蔽

12楼2013-03-08 15:07:47
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wangyong832

银虫 (著名写手)

引用回帖:
12楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-08 15:07:47
哥们 那你对这方面有没有什么心得呢?我要用两个金属靶溅射,其中一个用直流 另一个用射频 但是对于这个掺杂量的控制实在是难以把握 目前也在探索 不知你有没有什么好的方法 我们交流交流?...

谈不上心得,就是瞎折腾过一段时间,得出的结论是:反应共溅射这玩意太不让人省心了
    大家多多交流
13楼2013-03-08 15:55:47
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yshit

木虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-08 15:07:47
哥们 那你对这方面有没有什么心得呢?我要用两个金属靶溅射,其中一个用直流 另一个用射频 但是对于这个掺杂量的控制实在是难以把握 目前也在探索 不知你有没有什么好的方法 我们交流交流?...

双靶反应磁控共溅射中,参数对结果的影响真是差之毫厘谬以千里,太折腾人了,现在还没得出好的结果,正在摸索中。
秋天到了
14楼2013-03-09 10:40:20
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我要做实验

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果你做的是导电膜的话,电阻可以用万用表进行粗测,透过率可以自己比较一下,虽然不准确,但是可行。
15楼2013-05-20 08:44:56
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caiyazhi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

磁控溅射这么简单的东西,怎么会有人说很复杂呢?
真的不理解!一个陶瓷靶,一个金属靶,陶瓷用射频,金属靶用直流,这个调节功率配比即可以控制掺杂的量,
做三个不同功率配比的即可,很难??即使是反应溅射也没有这么夸张啊?只要不中毒都可以自由控制,楼上那么多说很复杂的不知道如何理解?
浮躁的社会更需要冷静
16楼2013-06-07 18:39:26
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by caiyazhi at 2013-06-07 18:39:26
磁控溅射这么简单的东西,怎么会有人说很复杂呢?
真的不理解!一个陶瓷靶,一个金属靶,陶瓷用射频,金属靶用直流,这个调节功率配比即可以控制掺杂的量,
做三个不同功率配比的即可,很难??即使是反应溅射也没 ...

楼主的意思是怎么通过调节两个靶的功率得到确定掺杂含量的薄膜,我赶脚这是无法确定的。只能先做几组不同功率的,然后做测试
黑暗中的光
17楼2013-11-08 09:45:30
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

很难,基本不可能得到那么准确的,只能大概一下,
hopeisagoodthing........
18楼2014-04-23 18:52:32
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xsz2013

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
12楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-08 15:07:47
哥们 那你对这方面有没有什么心得呢?我要用两个金属靶溅射,其中一个用直流 另一个用射频 但是对于这个掺杂量的控制实在是难以把握 目前也在探索 不知你有没有什么好的方法 我们交流交流?...

您好,你我目前也准备共溅射,问题还挺多,能留下QQ请教下您吗?
19楼2015-01-11 19:49:32
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吴艳杰

新虫 (初入文坛)

引用回帖:
13楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-03-08 15:55:47
谈不上心得,就是瞎折腾过一段时间,得出的结论是:反应共溅射这玩意太不让人省心了
    大家多多交流...

你好 我也是用共溅射 有问题想请教您  就是怎么判断两个靶材能一起溅射到片子上呢
20楼2016-03-21 18:54:26
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