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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
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yshit

木虫 (小有名气)
引用回帖:
5楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-03-02 18:33:53
个人觉得唯一方法就是自己摸索
  因为磁控溅射这玩意在化学计量比控制上就是这样，哪怕你事先知道你化合物的溅射产率 和 你金属的产率，实际实验情况和你计算情况也会有很大差异。
  而且即使有人跟你做过同样的 ...

说的太好了，我正用双金属靶反应溅射，无比纠结啊。
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秋天到了
11楼2013-03-08 11:10:44
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HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
12楼2013-03-08 15:07:47
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wangyong832

银虫 (著名写手)
引用回帖:
12楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-08 15:07:47
哥们 那你对这方面有没有什么心得呢？我要用两个金属靶溅射，其中一个用直流 另一个用射频 但是对于这个掺杂量的控制实在是难以把握 目前也在探索 不知你有没有什么好的方法 我们交流交流？...

谈不上心得，就是瞎折腾过一段时间，得出的结论是：反应共溅射这玩意太不让人省心了
    大家多多交流
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13楼2013-03-08 15:55:47
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yshit

木虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-08 15:07:47
哥们 那你对这方面有没有什么心得呢？我要用两个金属靶溅射，其中一个用直流 另一个用射频 但是对于这个掺杂量的控制实在是难以把握 目前也在探索 不知你有没有什么好的方法 我们交流交流？...

双靶反应磁控共溅射中，参数对结果的影响真是差之毫厘谬以千里，太折腾人了，现在还没得出好的结果，正在摸索中。
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秋天到了
14楼2013-03-09 10:40:20
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我要做实验

铜虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

如果你做的是导电膜的话，电阻可以用万用表进行粗测，透过率可以自己比较一下，虽然不准确，但是可行。
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15楼2013-05-20 08:44:56
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caiyazhi

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

磁控溅射这么简单的东西，怎么会有人说很复杂呢？
真的不理解！一个陶瓷靶，一个金属靶，陶瓷用射频，金属靶用直流，这个调节功率配比即可以控制掺杂的量，
做三个不同功率配比的即可，很难？？即使是反应溅射也没有这么夸张啊？只要不中毒都可以自由控制，楼上那么多说很复杂的不知道如何理解？
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浮躁的社会更需要冷静
16楼2013-06-07 18:39:26
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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by caiyazhi at 2013-06-07 18:39:26
磁控溅射这么简单的东西，怎么会有人说很复杂呢？
真的不理解！一个陶瓷靶，一个金属靶，陶瓷用射频，金属靶用直流，这个调节功率配比即可以控制掺杂的量，
做三个不同功率配比的即可，很难？？即使是反应溅射也没 ...

楼主的意思是怎么通过调节两个靶的功率得到确定掺杂含量的薄膜，我赶脚这是无法确定的。只能先做几组不同功率的，然后做测试
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黑暗中的光
17楼2013-11-08 09:45:30
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yanglei839

金虫 (正式写手)

木虫

【答案】应助回帖

很难，基本不可能得到那么准确的，只能大概一下，
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hopeisagoodthing........
18楼2014-04-23 18:52:32
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xsz2013

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
12楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-08 15:07:47
哥们 那你对这方面有没有什么心得呢？我要用两个金属靶溅射，其中一个用直流 另一个用射频 但是对于这个掺杂量的控制实在是难以把握 目前也在探索 不知你有没有什么好的方法 我们交流交流？...

您好，你我目前也准备共溅射，问题还挺多，能留下QQ请教下您吗？
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19楼2015-01-11 19:49:32
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吴艳杰

新虫 (初入文坛)
引用回帖:
13楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-03-08 15:55:47
谈不上心得，就是瞎折腾过一段时间，得出的结论是：反应共溅射这玩意太不让人省心了
    大家多多交流...

你好 我也是用共溅射 有问题想请教您  就是怎么判断两个靶材能一起溅射到片子上呢
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20楼2016-03-21 18:54:26
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