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禁虫 (小有名气)

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孤傲的王子

金虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

引用回帖:
16楼: Originally posted by caiyazhi at 2013-06-07 18:39:26
磁控溅射这么简单的东西,怎么会有人说很复杂呢?
真的不理解!一个陶瓷靶,一个金属靶,陶瓷用射频,金属靶用直流,这个调节功率配比即可以控制掺杂的量,
做三个不同功率配比的即可,很难??即使是反应溅射也没 ...

楼主的意思是怎么通过调节两个靶的功率得到确定掺杂含量的薄膜,我赶脚这是无法确定的。只能先做几组不同功率的,然后做测试
黑暗中的光
17楼2013-11-08 09:45:30
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wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖


感谢参与,应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-03 01:22:06
你另外一个靶材是多晶靶材?
个人觉得你这个要经过系统的探索,比如两个靶材的功率,两个靶材距离衬底的距离等等,
  要是你是用多晶靶材去溅射倒不是很困难,要是两个金属靶材反应溅射那工作量就相当大了
2楼2013-03-02 01:31:03
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禁虫 (小有名气)

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3楼2013-03-02 10:58:45
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禁虫 (小有名气)

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4楼2013-03-02 14:26:46
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