应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 磁控溅射中的双靶共溅射，如何通过调整两个靶材的溅射功率控制掺杂量？
51/1返回列表
查看: 4656  |  回复: 20
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

反应磁控溅射 磁控溅射靶材资料大全

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)
1楼 2013-03-01 21:09:09
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
3楼2013-03-02 10:58:45
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 21 个回答

wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-03 01:22:06
你另外一个靶材是多晶靶材？
个人觉得你这个要经过系统的探索，比如两个靶材的功率，两个靶材距离衬底的距离等等，
  要是你是用多晶靶材去溅射倒不是很困难，要是两个金属靶材反应溅射那工作量就相当大了
赞一下 回复此楼
2楼2013-03-02 01:31:03
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

HHBWF

禁虫 (小有名气)
本帖内容被屏蔽
4楼2013-03-02 14:26:46
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wangyong832

银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

引用回帖:
4楼: Originally posted by HHBWF at 2013-03-02 14:26:46
如果要是通过自己试的话对于我这里来说 有点不现实了 我这缺少必要的测试设备 目前只知道我需要的掺杂量是多少 但是不知道 怎样通过调整溅射功率来控制达到我需要的掺杂量 很纠结。如果有测试设备的话自己摸索摸索也 ...

个人觉得唯一方法就是自己摸索
  因为磁控溅射这玩意在化学计量比控制上就是这样，哪怕你事先知道你化合物的溅射产率 和 你金属的产率，实际实验情况和你计算情况也会有很大差异。
  而且即使有人跟你做过同样的工作，不同设备上的参数基本上参考价值不大.
  你很幸福了  用陶瓷靶材
赞一下 回复此楼
5楼2013-03-02 18:33:53
已阅   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 21 个回答
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭