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禁虫 (小有名气)

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1楼 2013-03-01 21:09:09

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新虫 (初入文坛)

引用回帖:

13楼: Originally posted by wangyong832 at 2013-03-08 15:55:47
谈不上心得，就是瞎折腾过一段时间，得出的结论是：反应共溅射这玩意太不让人省心了
大家多多交流...

你好我也是用共溅射有问题想请教您就是怎么判断两个靶材能一起溅射到片子上呢

20楼2016-03-21 18:54:26

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银虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
nofrunolif: 金币+1, 鼓励交流 2013-03-03 01:22:06

你另外一个靶材是多晶靶材？
个人觉得你这个要经过系统的探索，比如两个靶材的功率，两个靶材距离衬底的距离等等，
要是你是用多晶靶材去溅射倒不是很困难，要是两个金属靶材反应溅射那工作量就相当大了

2楼2013-03-02 01:31:03

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3楼2013-03-02 10:58:45

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4楼2013-03-02 14:26:46

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