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关于扫描电镜的一些小知识
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扫描电镜的常用术语 1、放大倍率：阴极射管电子束在荧光屏上的扫描振幅与入射电子束在样品表面扫描振幅的比值。 2、分辨率：分为图像分辨率和能谱或波谱分辨率。图像分辨率指拍摄图像上测量两亮区之间的暗间隙宽度除以总放大倍数的最小值，一般以nm为单位；能谱或波谱分辨率指谱图上可区分的两峰之间的最小能量值，单位为电子伏特（eV）. 3、杂散磁场：引起扫描电子束形状发生畸变的存在于电镜内或周围环境的磁场。 4、荷电：缺少足够的对地导电途径，试样受入射电子束轰击时其表面发生荷电积累的现象（多发生于导电性不好的样品）。影响图像的观察效果和显微分析的准确性。解决方法：表面镀导电膜；降低加速电压；减小分析束流；利用背散射电子衍射 5、像散：像差的一种，由于磁场轴向不对称引起 6、信号噪声比：信号强度与噪声强度的比值，信噪比越高，图像越清晰。信号强度取决于入射电子能量、束流等，噪音强度取决于检测器与样品的情况。 景深：获得清晰图像的深度范围，单位一般为μm 7、X射线检出角：X射线谱仪中心轴线与试样表面的夹角。检出角越大，定量分析准确度越高，SEM的检出角通常为30°～35°。 |
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