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光胶AZ50XT
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有没人用过AZ50XT的光胶啊 为什么显影要那么久 前烘115℃就会产生气泡 应该哄多久啊 就指教 |
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 yswyx的关于光刻的各种回复 |
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yswyx 
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【答案】应助回帖
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wxa616: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-23 18:09:34
wxa616: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-23 18:09:34
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我翻了一下以前的资料，以前曾经把AZ他们家的网站都down了一遍。我错了，这个50XT是厚胶，不过50XT没有在现在AZ的产品列表里面。 查了以前的资料，发现这个胶挺脆弱的，需要做阶梯升温的烘烤，说明这个胶比较容易产生应力，烘不好会裂。这个胶对显影的要求也高，400k的显影液是必须的。 至于气泡，和你片子的干净程度，涂胶的方式，设备，都有关系。你的匀胶机是啥样的？胶怎么滴到片子上的？ 另外，翻了AZ的产品系列说明，50XT这个胶真心不好用，你做什么工艺非要用它？ |
9楼2013-01-23 17:45:37
2楼2013-01-23 14:50:38
3楼2013-01-23 15:04:18
4楼2013-01-23 15:10:21
yswyx
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5楼2013-01-23 15:49:01
刚刚又试了试 我把显影剂改了 就好显了 可是结构也很容易被洗掉 还是有气泡（好像不是甩胶的问题） 6楼2013-01-23 16:02:33
7楼2013-01-23 16:04:45
8楼2013-01-23 16:21:35
我也觉得不好用，可是老板非要用啊 我做的是微流控芯片。用的是胶头滴管滴的光胶。有个问题就是用400k是不是非得用水稀释啊 没用水稀释是不是就会把结构也洗掉了，如果稀释通常稀释多少倍呢
10楼2013-01-23 18:09:27
