应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光胶AZ50XT
51/1返回列表
查看: 2713  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wxa616

银虫 (小有名气)

[求助] 光胶AZ50XT

有没人用过AZ50XT的光胶啊  为什么显影要那么久    前烘115℃就会产生气泡  应该哄多久啊  就指教
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢
无咎无誉
1楼 2013-01-23 14:47:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-23 17:45:37
我翻了一下以前的资料，以前曾经把AZ他们家的网站都down了一遍。我错了，这个50XT是厚胶，不过50XT没有在现在AZ的产品列表里面。
查了以前的资料，发现这个胶挺脆弱的，需要做阶梯升温的烘烤，说明这个胶比较容易 ...

大虫就是不一样啊  我也觉得不好用，可是老板非要用啊  我做的是微流控芯片。用的是胶头滴管滴的光胶。有个问题就是用400k是不是非得用水稀释啊  没用水稀释是不是就会把结构也洗掉了，如果稀释通常稀释多少倍呢
赞一下 回复此楼
无咎无誉
10楼2013-01-23 18:09:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择要根据说明书来选。和基底，胶的厚度等有很大关系的。

祝你进展顺利~
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-23 14:50:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rooinlee at 2013-01-23 14:50:38
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择 ...

在Hotplate上  说明书上写的就是115℃  还是10分钟  烘完后光胶变得很硬  在显影那步就很难显  求
赞一下 回复此楼
无咎无誉
3楼2013-01-23 15:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

hotplate这种东西的加热方式很不均匀，说不好115是表面温度还是哪里温度。个人感觉你的10分钟偏长了，有一部分光刻胶都干了，甚至糊了，所以导致显影困难。

可以尝试一下缩短前烘时间。

我的操作中S1813胶，前烘温度和你差不多，时间都是一两分钟的，没有超过三分钟的。
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-23 15:10:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭