应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光胶AZ50XT
51/1返回列表
查看: 2767  |  回复: 16
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

wxa616

银虫 (小有名气)

[求助] 光胶AZ50XT

有没人用过AZ50XT的光胶啊  为什么显影要那么久    前烘115℃就会产生气泡  应该哄多久啊  就指教
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢
无咎无誉
1楼 2013-01-23 14:47:12
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

hotplate这种东西的加热方式很不均匀，说不好115是表面温度还是哪里温度。个人感觉你的10分钟偏长了，有一部分光刻胶都干了，甚至糊了，所以导致显影困难。

可以尝试一下缩短前烘时间。

我的操作中S1813胶，前烘温度和你差不多，时间都是一两分钟的，没有超过三分钟的。
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-23 15:10:21
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答

rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择要根据说明书来选。和基底，胶的厚度等有很大关系的。

祝你进展顺利~
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-23 14:50:38
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rooinlee at 2013-01-23 14:50:38
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择 ...

在Hotplate上  说明书上写的就是115℃  还是10分钟  烘完后光胶变得很硬  在显影那步就很难显  求
赞一下 回复此楼
无咎无誉
3楼2013-01-23 15:04:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
引用回帖:
3楼: Originally posted by wxa616 at 2013-01-23 15:04:18
在Hotplate上  说明书上写的就是115℃  还是10分钟  烘完后光胶变得很硬  在显影那步就很难显  求...

你这个十分钟在说明书上一定有写OVEN这个字样，那就是用烘箱烘的。你用来做hotplate，这个明显是超了，而且超了不少。hotplate最可能的是90秒，上下20秒的样子，有些胶可能是60秒。
赞一下 回复此楼
5楼2013-01-23 15:49:01
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 17 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[教师之家] 某top大学教授说“能够在市场中兑现的能力才是真能力”无比同意！ +10 zju2000 2026-09-26 13/650 2026-09-30 10:26 by yexuqing
[有机交流] 同一个分子，一条来自文献，一条来自AI——不告诉你答案，你会选哪条？ +4 tianxiaoxian 2026-09-28 7/350 2026-09-30 08:34 by 88817753
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-29 19:27 by cqwQDCxMcL3I
[博后之家] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 16:30 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 16:03 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 15:04 by etmYJ6d2rquH
[公派出国] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:58 by etmYJ6d2rquH
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +6 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:41 by etmYJ6d2rquH
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 GDBe8tDZqE8z 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:30 by etmYJ6d2rquH
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-29 14:24 by etmYJ6d2rquH
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +6 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-29 14:13 by etmYJ6d2rquH
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 3/150 2026-09-29 13:56 by etmYJ6d2rquH
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:42 by ZvyPK8n6Nfki
[找工作] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 ZYXdhzDAy9ZX 2026-09-28 3/150 2026-09-29 06:28 by ZvyPK8n6Nfki
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 tqUTOxClQUMF 2026-09-28 3/150 2026-09-28 23:46 by b8fCuTHqckEt
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 4/200 2026-09-28 22:55 by ez6fGg9abYaj
[找工作] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 5/250 2026-09-28 22:32 by ez6fGg9abYaj
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 6/300 2026-09-28 22:15 by ez6fGg9abYaj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 CfXuS1rDhLYN 2026-09-28 3/150 2026-09-28 19:08 by 9lS3ad5oOymn
[考研] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 IDs3scOF0tjC 2026-09-28 4/200 2026-09-28 18:51 by 9lS3ad5oOymn
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭