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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 光胶AZ50XT
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wxa616

银虫 (小有名气)

[求助] 光胶AZ50XT

有没人用过AZ50XT的光胶啊  为什么显影要那么久    前烘115℃就会产生气泡  应该哄多久啊  就指教
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yswyx的关于光刻的各种回复

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无咎无誉
1楼2013-01-23 14:47:12
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★ ★ ★
wxa616: 金币+3, ★★★很有帮助 2013-01-23 18:09:34
引用回帖:
6楼: Originally posted by wxa616 at 2013-01-23 16:02:33
......   说明说上写的就是hotplate   .. 刚刚又试了试  我把显影剂改了 就好显了   可是结构也很容易被洗掉  还是有气泡（好像不是甩胶的问题）...

我翻了一下以前的资料，以前曾经把AZ他们家的网站都down了一遍。我错了，这个50XT是厚胶，不过50XT没有在现在AZ的产品列表里面。
查了以前的资料，发现这个胶挺脆弱的，需要做阶梯升温的烘烤，说明这个胶比较容易产生应力，烘不好会裂。这个胶对显影的要求也高，400k的显影液是必须的。

至于气泡，和你片子的干净程度，涂胶的方式，设备，都有关系。你的匀胶机是啥样的？胶怎么滴到片子上的？

另外，翻了AZ的产品系列说明，50XT这个胶真心不好用，你做什么工艺非要用它？
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9楼2013-01-23 17:45:37
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择要根据说明书来选。和基底，胶的厚度等有很大关系的。

祝你进展顺利~
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2楼2013-01-23 14:50:38
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wxa616

银虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by rooinlee at 2013-01-23 14:50:38
气泡的产生的可能原因：
1.甩胶那一步就已经有气泡了，只不过前烘让气泡更加明显。避免气泡的方法就是涂胶的时候柔和缓慢。
2.前烘温度不合理。你是在hot plate进行？还是烤箱，还是恒温箱？
3.温度和事件的选择 ...

在Hotplate上  说明书上写的就是115℃  还是10分钟  烘完后光胶变得很硬  在显影那步就很难显  求
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无咎无誉
3楼2013-01-23 15:04:18
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rooinlee

木虫 (正式写手)

天一阁主

【答案】应助回帖

hotplate这种东西的加热方式很不均匀，说不好115是表面温度还是哪里温度。个人感觉你的10分钟偏长了，有一部分光刻胶都干了，甚至糊了，所以导致显影困难。

可以尝试一下缩短前烘时间。

我的操作中S1813胶，前烘温度和你差不多，时间都是一两分钟的，没有超过三分钟的。
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4楼2013-01-23 15:10:21
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