应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
181/2返回列表12下一页
查看: 1787  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？

最近，用到SU-8胶光刻，光刻后想把它揭下来使用，但是很难弄，求各位大神支招，谢谢！！！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
海阔天空
1楼 2013-01-01 22:21:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-02 10:24:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 10:24:04
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？

硅片上没有东西，只是利用硅片来旋涂光刻胶，我是想用光刻后的光刻胶上面的形状，所以现在要想办法把它揭下来，比较困难。
赞一下 回复此楼
海阔天空
3楼2013-01-02 10:46:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-02 11:04:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 11:04:25
现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？

还没有，实验还没做，是不是实验前期把硅片表面处理下会好点?
赞一下 回复此楼
海阔天空
5楼2013-01-02 11:24:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林打铁

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-03 15:43:52
切割后，腐蚀掉硅可以吗
赞一下 回复此楼
6楼2013-01-03 00:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+1, ★有帮助 2013-01-03 15:44:08
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。
赞一下 回复此楼
7楼2013-01-03 01:49:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 01:49:57
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。

做微泵的微阀用，这个是得揭下来的，难道没有什么方法么？
赞一下 回复此楼
海阔天空
8楼2013-01-03 10:02:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ahjxb18

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-03 15:42:54
本帖内容被屏蔽
9楼2013-01-03 14:13:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by ahjxb18 at 2013-01-03 14:13:54
用氢氟酸腐蚀掉硅片不知道可不可以

这个倒是可以试一试，多谢，
赞一下 回复此楼
海阔天空
10楼2013-01-03 15:42:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 springcp 的主题更新
181/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 302求调剂 +4 小贾同学123 2026-03-15 6/300 2026-03-17 07:06 by laoshidan
[基金申请] 国自科面上基金字体 +6 iwuli 2026-03-12 7/350 2026-03-16 21:18 by sculhf
[考研] 一志愿211 0703方向310分求调剂 +3 努力奋斗112 2026-03-15 3/150 2026-03-16 16:44 by houyaoxu
[考研] 0703化学调剂 ，六级已过，有科研经历 +7 曦熙兮 2026-03-15 7/350 2026-03-16 16:34 by houyaoxu
[考研] 0703化学调剂 290分有科研经历，论文在投 +7 腻腻gk 2026-03-14 7/350 2026-03-16 10:12 by houyaoxu
[考研] 070305求调剂 +3 mlpqaz03 2026-03-14 4/200 2026-03-15 11:04 by peike
[考研] 294求调剂 +3 Zys010410@ 2026-03-13 4/200 2026-03-15 10:59 by zhq0425
[基金申请] 面上和青基一样限30页不合理 +5 wowsunflower 2026-03-10 7/350 2026-03-14 17:21 by kingkocxr
[考研] 328求调剂 +3 5201314Lsy！ 2026-03-13 6/300 2026-03-14 15:31 by hyswxzs
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 330求调剂 +3 ?酱给调剂跪了 2026-03-13 3/150 2026-03-14 10:13 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +3 是Lupa啊 2026-03-10 3/150 2026-03-14 00:30 by JourneyLucky
[考研] 复试调剂 +9 Copy267 2026-03-10 9/450 2026-03-13 23:45 by userper
[考研] 一志愿中科院，化学方向，295求调剂 +4 一氧二氮 2026-03-11 4/200 2026-03-13 22:35 by JourneyLucky
[考研] 材料工程调剂 +9 咪咪空空 2026-03-12 9/450 2026-03-13 22:05 by 星空星月
[考研] 四川大学085601材料工程专硕 初试294求调剂 +4 祝我们好在冬天 2026-03-11 4/200 2026-03-13 21:39 by peike
[考研] 【0856】化学工程（085602）313 分，本科学科评估A类院校化学工程与工艺，诚求调剂 +7 小刘快快上岸 2026-03-11 7/350 2026-03-13 16:06 by ruiyingmiao
[考研] 268求调剂 +4 好运连绵不绝 2026-03-12 4/200 2026-03-13 10:45 by hyswxzs
[考研] 081200-11408-276学硕求调剂 +3 崔wj 2026-03-12 4/200 2026-03-12 19:33 by 求调剂zz
[考研] 哈工大材料324求调剂 +6 闫旭东 2026-03-10 8/400 2026-03-10 22:49 by 星空星月
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭