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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
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springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？

最近，用到SU-8胶光刻，光刻后想把它揭下来使用，但是很难弄，求各位大神支招，谢谢！！！
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海阔天空
1楼 2013-01-01 22:21:30
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18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？
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2楼2013-01-02 10:24:04
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 10:24:04
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？

硅片上没有东西，只是利用硅片来旋涂光刻胶，我是想用光刻后的光刻胶上面的形状，所以现在要想办法把它揭下来，比较困难。
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海阔天空
3楼2013-01-02 10:46:17
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18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？
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4楼2013-01-02 11:04:25
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 11:04:25
现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？

还没有，实验还没做，是不是实验前期把硅片表面处理下会好点?
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海阔天空
5楼2013-01-02 11:24:06
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竹林打铁

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-03 15:43:52
切割后，腐蚀掉硅可以吗
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6楼2013-01-03 00:11:18
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yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+1, ★有帮助 2013-01-03 15:44:08
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。
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7楼2013-01-03 01:49:57
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 01:49:57
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。

做微泵的微阀用，这个是得揭下来的，难道没有什么方法么？
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海阔天空
8楼2013-01-03 10:02:31
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ahjxb18

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-03 15:42:54
本帖内容被屏蔽
9楼2013-01-03 14:13:54
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by ahjxb18 at 2013-01-03 14:13:54
用氢氟酸腐蚀掉硅片不知道可不可以

这个倒是可以试一试，多谢，
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海阔天空
10楼2013-01-03 15:42:30
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