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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
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springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？

最近，用到SU-8胶光刻，光刻后想把它揭下来使用，但是很难弄，求各位大神支招，谢谢！！！
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海阔天空
1楼 2013-01-01 22:21:30
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 01:49:57
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。

做微泵的微阀用，这个是得揭下来的，难道没有什么方法么？
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海阔天空
8楼2013-01-03 10:02:31
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18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？
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2楼2013-01-02 10:24:04
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 10:24:04
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？

硅片上没有东西，只是利用硅片来旋涂光刻胶，我是想用光刻后的光刻胶上面的形状，所以现在要想办法把它揭下来，比较困难。
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海阔天空
3楼2013-01-02 10:46:17
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18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？
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4楼2013-01-02 11:04:25
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