应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
181/2返回列表12下一页
查看: 2152  |  回复: 17
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？

最近，用到SU-8胶光刻，光刻后想把它揭下来使用，但是很难弄，求各位大神支招，谢谢！！！
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx的关于光刻的各种回复

» 猜你喜欢

» 本主题相关价值贴推荐，对您同样有帮助:
海阔天空
1楼 2013-01-01 22:21:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？
赞一下 回复此楼
2楼2013-01-02 10:24:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 10:24:04
现在在工厂里面，主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么？
有金属线路么？

硅片上没有东西，只是利用硅片来旋涂光刻胶，我是想用光刻后的光刻胶上面的形状，所以现在要想办法把它揭下来，比较困难。
赞一下 回复此楼
海阔天空
3楼2013-01-02 10:46:17
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？
赞一下 回复此楼
4楼2013-01-02 11:04:25
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 11:04:25
现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么？

还没有，实验还没做，是不是实验前期把硅片表面处理下会好点?
赞一下 回复此楼
海阔天空
5楼2013-01-02 11:24:06
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

竹林打铁

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

★ ★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-03 15:43:52
切割后，腐蚀掉硅可以吗
赞一下 回复此楼
6楼2013-01-03 00:11:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)

【答案】应助回帖

★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+1, ★有帮助 2013-01-03 15:44:08
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。
赞一下 回复此楼
7楼2013-01-03 01:49:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2013-01-03 01:49:57
你把它揭下来干嘛用？这个方法是最不建议的。
如果是想把SU8的结构转移到柔性膜上，那么用PDMS翻模就可以了。
如果你是想把SU8转移的硬的衬底上，那么就应该直接在硬的衬底上直接涂覆SU8进行光刻。

做微泵的微阀用，这个是得揭下来的，难道没有什么方法么？
赞一下 回复此楼
海阔天空
8楼2013-01-03 10:02:31
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ahjxb18

禁虫 (小有名气)
★ ★
感谢参与，应助指数 +1
springcp: 金币+2, ★★★很有帮助 2013-01-03 15:42:54
本帖内容被屏蔽
9楼2013-01-03 14:13:54
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
9楼: Originally posted by ahjxb18 at 2013-01-03 14:13:54
用氢氟酸腐蚀掉硅片不知道可不可以

这个倒是可以试一试，多谢，
赞一下 回复此楼
海阔天空
10楼2013-01-03 15:42:30
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 springcp 的主题更新
181/2返回列表12下一页
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 今天务委会开完了，明天出结果吗 +8 angus9576 2026-08-25 8/400 2026-08-25 16:13 by mike1816
[基金申请] 在坚冰还盖着北海的时候，我看到了怒放的梅花。 +5 ziyangfang 2026-08-25 7/350 2026-08-25 16:00 by alanbrown
[基金申请] 某些机构，以效率低为荣，以效率低作为存在感 +8 yuleib84 2026-08-25 9/450 2026-08-25 15:23 by Weed114114
[基金申请] 什么时候开奖？ +12 CrisMessi 2026-08-18 13/650 2026-08-25 14:40 by ZJTJZ
[基金申请] 没有任何消息-是不是就凉了 +9 图啦图啦 2026-08-24 10/500 2026-08-25 11:59 by 南海小哥
[基金申请] 人气不行了 +11 fansofjerry 2026-08-21 11/550 2026-08-25 11:04 by 孤独的英雄6
[基金申请] 2026国自然函评费到账 +19 羊腰板 2026-08-21 22/1100 2026-08-25 10:38 by popular289
[教师之家] 导师吐槽：我怎么摊上了这么个极品研究生！ +3 苏东坡二世 2026-08-23 3/150 2026-08-25 10:35 by shisan1313
[基金申请] 2026年的国家社科基金项目通讯评审的新规则与新动向、新挑战 +5 process2012 2026-08-23 7/350 2026-08-25 09:42 by huixian257
[基金申请] 我面上完蛋了 +13 且听虎啸 2026-08-20 14/700 2026-08-25 09:10 by mrkang
[基金申请] 只有每年这种时候来逛逛小木虫 +25 yaoyewhu2008 2026-08-20 27/1350 2026-08-25 08:01 by Equinoxhua
[基金申请] 能否退出参与的面上项目解除限项 +21 koalala 2026-08-24 24/1200 2026-08-24 19:25 by 家与远方
[基金申请] 让我中一个面上吧！ +13 大萍1987 2026-08-20 16/800 2026-08-24 10:23 by 太傻了
[教师之家] 跳槽后在研项目怎么办？ +5 简单化xn 2026-08-22 10/500 2026-08-23 12:38 by 简单化xn
[基金申请] 今天放榜吗？ +15 布布和一二 2026-08-19 16/800 2026-08-23 09:55 by 张春生
[基金申请] 时间戳今天，20号变了 +5 archvillain 2026-08-20 5/250 2026-08-22 06:12 by hui_daxiao
[基金申请] 看来今天不会放榜了？ +8 chengyan1220 2026-08-21 11/550 2026-08-21 17:52 by dcqxinyang
[基金申请] 应该是下周三26日公布了吧？ +4 哈哈蛤？ 2026-08-21 4/200 2026-08-21 10:58 by Vivilian
[基金申请] 今天放榜没戏了吧 +9 yuleib84 2026-08-19 11/550 2026-08-21 10:06 by gltch
[基金申请] 基金啊基金 +4 longfie172 2026-08-20 4/200 2026-08-21 08:58 by mark mao
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭