【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？ - 微米和纳米 - 微纳加工

海阔天空

11楼2013-01-03 15:43:37

匿名

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12楼2013-01-03 18:29:09

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yswyx

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8楼: Originally posted by springcp at 2013-01-03 10:02:31
做微泵的微阀用，这个是得揭下来的，难道没有什么方法么？...

从你发的微泵图来看，应该不是揭下来使用的。

13楼2013-01-03 20:56:40

kwxia

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我们用过土办法，衬底和光胶之间放一层糖水。曝光完还是develop之后（不记得了）把它放水里让糖溶解就可以了……

14楼2013-01-03 21:21:23

springcp

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14楼: Originally posted by kwxia at 2013-01-03 21:21:23
我们用过土办法，衬底和光胶之间放一层糖水。曝光完还是develop之后（不记得了）把它放水里让糖溶解就可以了……

糖？什么糖？

海阔天空

15楼2013-01-03 22:41:03

kwxia

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15楼: Originally posted by springcp at 2013-01-03 22:41:03
糖？什么糖？...

白砂糖……

16楼2013-01-04 00:02:25

biomineral

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糖还能这没用，好主意

17楼2013-01-08 14:40:45

danqun6276

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请问你揭下完整的光刻胶了吗？我也在做这方面的问题，我是用的PDMS做释放层，然后旋涂光刻胶，可是PDMS的表面能太小了，胶都缩到一起了，我看文献有说要溅射一周的金属，来改善它的表面能的缺陷。

18楼2016-03-21 20:44:03