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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 【求助】各位大神，有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么？
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 竹林打铁 at 2013-01-03 00:11:18
切割后，腐蚀掉硅可以吗

这个可以试一试，谢谢
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海阔天空
11楼2013-01-03 15:43:37
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匿名

用户注销 (职业作家)
本帖仅楼主可见
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12楼2013-01-03 18:29:09
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yswyx

专家顾问 (著名写手)
引用回帖:
8楼: Originally posted by springcp at 2013-01-03 10:02:31
做微泵的微阀用，这个是得揭下来的，难道没有什么方法么？...

从你发的微泵图来看，应该不是揭下来使用的。
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13楼2013-01-03 20:56:40
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kwxia

金虫 (正式写手)
我们用过土办法，衬底和光胶之间放一层糖水。曝光完还是develop之后（不记得了）把它放水里让糖溶解就可以了……
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14楼2013-01-03 21:21:23
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springcp

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
14楼: Originally posted by kwxia at 2013-01-03 21:21:23
我们用过土办法，衬底和光胶之间放一层糖水。曝光完还是develop之后（不记得了）把它放水里让糖溶解就可以了……

糖？什么糖？
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海阔天空
15楼2013-01-03 22:41:03
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kwxia

金虫 (正式写手)
引用回帖:
15楼: Originally posted by springcp at 2013-01-03 22:41:03
糖？什么糖？...

白砂糖……
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16楼2013-01-04 00:02:25
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biomineral

金虫 (著名写手)
糖还能这没用，好主意
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17楼2013-01-08 14:40:45
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danqun6276

新虫 (初入文坛)
请问你揭下完整的光刻胶了吗？我也在做这方面的问题，我是用的PDMS做释放层，然后旋涂光刻胶，可是PDMS的表面能太小了，胶都缩到一起了，我看文献有说要溅射一周的金属，来改善它的表面能的缺陷。
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18楼2016-03-21 20:44:03
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