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springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】各位大神,有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么?

最近,用到SU-8胶光刻,光刻后想把它揭下来使用,但是很难弄,求各位大神支招,谢谢!!!
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海阔天空
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danqun6276

新虫 (初入文坛)

请问你揭下完整的光刻胶了吗?我也在做这方面的问题,我是用的PDMS做释放层,然后旋涂光刻胶,可是PDMS的表面能太小了,胶都缩到一起了,我看文献有说要溅射一周的金属,来改善它的表面能的缺陷。
18楼2016-03-21 20:44:03
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18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
现在在工厂里面,主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么?
有金属线路么?
2楼2013-01-02 10:24:04
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springcp

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by 18662515085 at 2013-01-02 10:24:04
现在在工厂里面,主要通过光刻胶得到想要的电路图
你硅片上面有东西么?
有金属线路么?

硅片上没有东西,只是利用硅片来旋涂光刻胶,我是想用光刻后的光刻胶上面的形状,所以现在要想办法把它揭下来,比较困难。
海阔天空
3楼2013-01-02 10:46:17
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18662515085

银虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

现在你的光刻胶已经有部分被曝光了
曝光的部分已经被你洗掉了么?
4楼2013-01-02 11:04:25
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