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springcp

铜虫 (小有名气)

[求助] 【求助】各位大神,有谁知道怎样从硅片上揭下光刻好的SU-8胶么?

最近,用到SU-8胶光刻,光刻后想把它揭下来使用,但是很难弄,求各位大神支招,谢谢!!!
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海阔天空
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danqun6276

新虫 (初入文坛)

请问你揭下完整的光刻胶了吗?我也在做这方面的问题,我是用的PDMS做释放层,然后旋涂光刻胶,可是PDMS的表面能太小了,胶都缩到一起了,我看文献有说要溅射一周的金属,来改善它的表面能的缺陷。
18楼2016-03-21 20:44:03
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