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关于XPS溅射或者叫刻蚀
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wangxiaozj
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[交流]
关于XPS溅射或者叫刻蚀
我的几个粉末样品,负载型,就是在纯氧化物上负载碱金属盐,样品做了XPS表征,并做了两次刻蚀,15秒和30秒。
有几个疑问:
1.未刻蚀的样品用C1s的284.8eV校正,刻蚀后的样品还是需要用这个数值校正吗?
刻蚀的目的是什么呢?我看了一篇文献说是刻蚀可以将表面的污染去除,这个意思是不是刻蚀后的样品不用校正呢?
2.我做了纯碳酸钾的样品的XPS并刻蚀两次,如果每次都校正,得到的谱峰是偏差0.8eV,若刻蚀的样品不校正则是不偏差的。
怎么解释啊,该按照哪个标准啊,头疼啊,大侠救命啊!!
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