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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 晶体 » 基础理论 » InP晶体生长中的空洞问题（见图）
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bjcrystal

铜虫 (小有名气)

[交流] InP晶体生长中的空洞问题（见图）

在生长InP晶体时，尾部切开后出现较大空洞，大家谈谈出现这种空洞的原因。

先谈我的分析，InP在熔点（1062℃）时的饱和蒸汽压为27.5atm，因为空洞内无富铟，可以排除由于红磷分压过低，引起组分中的红磷溢出而形成空位导致空洞的形成。空洞内有红磷浮着，是所加的过量的红磷，降温为附着在空洞上，图片中看不到是因为已经被洗掉了。
再者，有没有可能是因为生长时，尾部温度过高，而降温时速率太快，液封剂两边温度差较大，导致有压力差，进而红磷气体进入熔体当中，当结晶时形成空洞，而后红磷附着在洞壁上。

以上是我所想到的，大家谈谈您的看法吧。但愿高手出现能有一个较好的解释。

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1楼 2012-12-28 14:06:27
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readytogo

荣誉版主 (文学泰斗)
★
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
要是密闭空间还行啊，对这东西很好奇
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3楼2012-12-28 15:04:40
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文刀玉口

金虫 (正式写手)
★
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
楼主是采用什么工艺长的InP ingot ,是VGF吗？
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6楼2012-12-28 20:51:02
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文刀玉口

金虫 (正式写手)
楼主是采用什么工艺长的 InP ingot的，是VGF吗？
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7楼2012-12-28 20:53:26
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bjcrystal

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
3楼: Originally posted by readytogo at 2012-12-28 15:04:40
要是密闭空间还行啊，对这东西很好奇

我们生长晶体是在一个抽完真空的密闭空间
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15楼2013-01-04 08:47:39
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bjcrystal

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 文刀玉口 at 2012-12-28 20:51:02
楼主是采用什么工艺长的InP ingot ,是VGF吗？

是的，您有什么见解吗
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16楼2013-01-04 08:48:17
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bjcrystal

铜虫 (小有名气)
高手在哪里
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17楼2013-01-04 11:50:57
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jxdaaa

新虫 (初入文坛)
★
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
后期温度梯度较小，快速生长所致！这在HB快速合成原料时，经常出现！
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18楼2013-01-24 11:45:54
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bjcrystal

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by 文刀玉口 at 2012-12-28 20:51:02
楼主是采用什么工艺长的InP ingot ,是VGF吗？

是的
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19楼2013-03-04 10:02:00
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bjcrystal

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
18楼: Originally posted by jxdaaa at 2013-01-24 11:45:54
后期温度梯度较小，快速生长所致！这在HB快速合成原料时，经常出现！

能具体一些吗？
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20楼2013-03-05 09:59:59
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茅塞顿开2楼
2012-12-28 14:34   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
gkf1234楼
2012-12-28 15:20   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
soarfalcon88085楼
2012-12-28 15:30   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
xachenxi8楼
2012-12-28 21:44   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
z11120059楼
2012-12-28 21:53   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
85319748610楼
2012-12-28 21:57   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
seaskyzdw11楼
2012-12-28 22:04   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
prry200812楼
2012-12-28 22:05   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
ph0318102113楼
2012-12-28 22:15   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
ljqpyk14楼
2012-12-28 22:25   回复  
bjcrystal(金币+1): 谢谢参与
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