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lootus

木虫 (小有名气)

[求助] 电镜观察样品断面的技巧

我先介绍下样品,硅片表面有一层微相分离的聚合物薄膜,膜厚约130nm,薄膜具有片层纳米结构,尺寸约40nm,用扫描电镜完全可以直接观察样品表面的纳米结构。
希望看这种纳米结构是否贯穿于整个膜厚(130nm),所以要看断面。我目前是直接将硅片裂开,选比较整齐的断面,直接观察。这样只能看到这一层薄膜的存在,完全无法观察到断面的细节(40nm左右的结构)。
请问有什么好办法?包括制样和观察。谢谢!
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yuan999

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
可以试用用有机溶剂清洗去掉一部分,再转个角度看表面
我~心~依~旧
9楼2012-12-29 15:34:30
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xiaoshanbei

金虫 (正式写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
直接将硅片裂开的时候可能对薄膜有破坏,你可以将薄膜附着在靠近硅片边缘的位置,然后把硅片立起来直接看
加油
2楼2012-12-28 13:38:00
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semi-white

铁杆木虫 (著名写手)

Pay first, then get.

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
Sem要考虑样品导电性 试着调整下参数。或者试试切片透射
3楼2012-12-28 18:13:55
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zhaoyuan0426

至尊木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
导电性不好,40nm不容易看清楚
4楼2012-12-28 18:31:56
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