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lootus管理员
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电镜观察样品断面的技巧
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我先介绍下样品，硅片表面有一层微相分离的聚合物薄膜，膜厚约130nm，薄膜具有片层纳米结构，尺寸约40nm，用扫描电镜完全可以直接观察样品表面的纳米结构。 希望看这种纳米结构是否贯穿于整个膜厚（130nm），所以要看断面。我目前是直接将硅片裂开，选比较整齐的断面，直接观察。这样只能看到这一层薄膜的存在，完全无法观察到断面的细节（40nm左右的结构）。 请问有什么好办法？包括制样和观察。谢谢！ |
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