应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » TMAH腐蚀硅片时保护硅片表面的铝电极
北京石油化工学院2026年研究生招生接收调剂公告
91/1返回列表
查看: 2333  |  回复: 8
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

明月秋风寒

铁虫 (初入文坛)

[交流] TMAH腐蚀硅片时保护硅片表面的铝电极 已有4人参与

小弟在做MEMS工艺时由于操作失误，在还没有进行TMAH腐蚀时把光刻胶去掉了，由于硅片表面有台阶结构，因此不能再次甩胶了。文献上说TMAH腐蚀铝的速率基本为0，但是为了保险起见，还是想在TMAH腐蚀硅前在表面增加一层保护铝电极的的保护层，各位大神有好的建议吗？
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

yswyx关于腐蚀/刻蚀的回复

» 猜你喜欢
1楼 2012-11-08 09:20:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

exciting1973

禁虫 (正式写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
本帖内容被屏蔽
2楼2012-11-08 10:17:18
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
TMAH是腐蚀铝的，速度肯定比硅快，哪个文献上说不腐蚀的？尽胡扯啊。
如果你需要保护铝膜，可以用PECVD在硅片上做一层SiO和SiN（无氢），然后用光刻，腐蚀，在需要腐蚀硅的位置，把SiO/SiN薄膜用HF腐蚀出窗口。然后再进行TMAH的腐蚀，铝膜会被SiO/SiN保护起来。这里要注意的是，PECVD的薄膜会有针孔以及含H，所以很疏松，你要找能够做不含H的PECVD做。

另外一个办法就是找抗碱的光刻胶，用spray coating的办法喷到片子表面，然后做光刻，露出需要时腐蚀的硅的部分，再去做TMAH腐蚀。

另外，这个方法你是逃不掉的，因为普通的光刻胶是扛不住TMAH的，所以你在腐蚀前把做铝膜的光刻胶去掉是必须的，这不属于失误。

最后，需要注意的是，你算好腐蚀的深度，算好腐蚀的时间，来确定SiO/SiN薄膜的厚度，或者是抗碱光刻胶的厚度。
赞一下(1人) 回复此楼
3楼2012-11-08 15:39:23
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

明月秋风寒

铁虫 (初入文坛)
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-08 15:39:23
TMAH是腐蚀铝的，速度肯定比硅快，哪个文献上说不腐蚀的？尽胡扯啊。
如果你需要保护铝膜，可以用PECVD在硅片上做一层SiO和SiN（无氢），然后用光刻，腐蚀，在需要腐蚀硅的位置，把SiO/SiN薄膜用HF腐蚀出窗口。然后 ...

谢谢，我试一下。有其他问题还得请教您
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-09 12:06:00
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
4楼: Originally posted by 明月秋风寒 at 2012-11-09 12:06:00
谢谢，我试一下。有其他问题还得请教您...

不客气，把工艺书再多翻几遍
赞一下 回复此楼
5楼2012-11-09 13:08:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
TMAH可以腐蚀Al，楼上正解
赞一下 回复此楼
6楼2013-05-21 20:05:57
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

博士_14

新虫 (初入文坛)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
3楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-08 15:39:23
TMAH是腐蚀铝的，速度肯定比硅快，哪个文献上说不腐蚀的？尽胡扯啊。
如果你需要保护铝膜，可以用PECVD在硅片上做一层SiO和SiN（无氢），然后用光刻，腐蚀，在需要腐蚀硅的位置，把SiO/SiN薄膜用HF腐蚀出窗口。然后 ...

你好，我用5%的TMAH腐蚀液腐蚀体硅，结果发现是各向同性腐蚀。。。。会是哪方面出现问题了?
赞一下 回复此楼
7楼2014-07-30 09:14:32
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

quanten

金虫 (著名写手)

QQ群(NW-FET): 157220400
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by 博士_14 at 2014-07-30 09:14:32
你好，我用5%的TMAH腐蚀液腐蚀体硅，结果发现是各向同性腐蚀。。。。会是哪方面出现问题了?...

理论上不会这样，用新鲜的溶液，不要加其他东西，另外如果要继续提高选择比，可以用KOH 溶液
赞一下 回复此楼
8楼2014-07-30 16:56:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

yswyx

专家顾问 (著名写手)
★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
引用回帖:
7楼: Originally posted by 博士_14 at 2014-07-30 09:14:32
你好，我用5%的TMAH腐蚀液腐蚀体硅，结果发现是各向同性腐蚀。。。。会是哪方面出现问题了?...

你是怎么判断出事各向同性的呢？？？
有图最好。
赞一下 回复此楼
9楼2014-07-30 18:04:08
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 明月秋风寒 的主题更新
91/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 293求调剂 +3 末未mm 2026-03-30 5/250 2026-03-30 17:23 by 王保杰33
[考研] 材料科学与工程 317求调剂 +5 JKSOIID 2026-03-26 5/250 2026-03-30 16:38 by 梨子～
[考研] 288资源与环境专硕求调剂，不限专业，有学上就行 +5 lllllos 2026-03-30 5/250 2026-03-30 15:05 by cq2548
[考研] 化学308分调剂 +7 你好明天你好 2026-03-30 8/400 2026-03-30 13:02 by 你好明天你好
[考研] 求调剂 +10 张zz111 2026-03-27 11/550 2026-03-30 09:17 by 无际的草原
[考研] 一志愿南航 335分 | 0856 | GPA 4.07 | 有科研经历 +8 cccchenso 2026-03-29 8/400 2026-03-29 23:53 by 我是小康
[考研] 2026年华南师范大学欢迎化学，化工，生物，生医工等专业优秀学子加入！ +3 llss0711 2026-03-28 6/300 2026-03-29 10:26 by llss0711
[考研] 本科双非材料，跨考一志愿华电085801电气，283求调剂，任何专业都可以 +6 芝士雪baoo 2026-03-28 8/400 2026-03-29 08:16 by 松花缸1201
[考研] 数一英一271专硕（085401）求调剂，可跨 +7 前行必有光 2026-03-28 8/400 2026-03-28 23:22 by 小木虫tim
[考研] 304求调剂 +6 曼殊2266 2026-03-27 6/300 2026-03-28 14:10 by 唐沐儿
[考研] 322求调剂 +5 旧吢 2026-03-24 5/250 2026-03-28 13:26 by Iveryant
[考研] 266分，求材料冶金能源化工等调剂 +7 哇呼哼呼哼 2026-03-27 9/450 2026-03-28 12:22 by zllcz
[考研] 材料277求调剂 +7 min3 2026-03-24 7/350 2026-03-28 11:39 by xuxiang
[考研] 085405 考的11408求各位老师带走 +3 Qiu学ing 2026-03-28 3/150 2026-03-28 09:19 by 乐呵呵的追梦人
[考研] 考研调剂 +10 呼呼？~+123456 2026-03-24 10/500 2026-03-27 11:46 by wangjy2002
[考研] 一志愿 南京邮电大学 288分 材料考研 求调剂 +3 jl0720 2026-03-26 3/150 2026-03-26 13:39 by zzll406
[考研] 打过很多竞赛，085406控制工程300分，求调剂 +3 askeladz 2026-03-26 3/150 2026-03-26 09:08 by 给你你注意休息
[考研] 285求调剂 +3 AZMK 2026-03-24 3/150 2026-03-25 12:23 by userper
[考研] 调剂 +4 13853210211 2026-03-24 4/200 2026-03-24 19:44 by ms629
[考研] 材料专硕找调剂 +5 哈哈哈吼吼吼哈 2026-03-23 5/250 2026-03-24 19:07 by 了了了了。。
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭