应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办
81/1返回列表
查看: 1353  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看

simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办

大概有50um厚度的陶瓷片
想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极
结果溅射完发现陶瓷都卷曲了
该怎么处理？
用kapton胶带？双面胶？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2012-11-07 21:45:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。
赞一下 回复此楼
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
2楼2012-11-07 22:49:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-11-07 22:49:49
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。

我觉得是因为温度过高导致的形变，加之它本身又有压电效应，局部变形导致表面电压分布不均，然后就卷曲变形了
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-08 01:43:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀膜要高，所以镀膜会减小这种情况；
三，可以试一下双面同时溅射

如能找到原因加以解决希望和我交流一下。
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-09 10:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jkcls at 2012-11-09 10:19:05
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀 ...

嗯，实在不行再蒸镀吧。
赞一下 回复此楼
5楼2012-11-10 04:07:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

镀膜之后表面弯曲这是正常的现象，这说明你镀的膜当中有很强的应力，你应该断断续续的镀膜，镀2分钟停10分钟，10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功，我以前就是在si上镀cu 结过si弯了，用了这种方法就好了。
赞一下 回复此楼
呵呵了
6楼2012-11-11 18:45:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by digghost at 2012-11-11 18:45:09
镀膜之后表面弯曲这是正常的现象，这说明你镀的膜当中有很强的应力，你应该断断续续的镀膜，镀2分钟停10分钟，10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功，我以前就是在si上镀cu 结过si弯了，用了这 ...

哦，我就怕加热后陶瓷退极化了，算了，不行再极化好了。谢谢哈，回头我试一下。
赞一下 回复此楼
7楼2012-11-14 23:57:03
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

枫翼ljj

木虫 (著名写手)
楼主50um的陶瓷怎么制备？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2017-09-22 01:44:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
相关版块跳转 我要订阅楼主 simplejane 的主题更新
81/1返回列表
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 2026国自然放榜时间 +3 布布和一二 2026-08-08 3/150 2026-08-08 18:15 by Lightingo
[硕博家园] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 4/200 2026-08-08 17:19 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 17:02 by oEVWOejN9taj
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +3 qTvzQBRAHjCi 2026-08-07 5/250 2026-08-08 16:47 by oEVWOejN9taj
[博后之家] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 4/200 2026-08-08 16:02 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 Vi50GxzrFcSG 2026-08-07 6/300 2026-08-08 15:07 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 这样的filecode谁见过 +5 布布和一二 2026-08-08 8/400 2026-08-08 14:54 by archvillain
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +4 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:47 by oEVWOejN9taj
[博后之家] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.54,科目全,可伽急 +3 HEQlVqMTIA7d 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:42 by oEVWOejN9taj
[论文投稿] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 KXLV3nuBVBY7 2026-08-07 6/300 2026-08-08 14:01 by oEVWOejN9taj
[基金申请] 关于代码变化问题，想知道的进来 +11 且听虎啸 2026-08-07 14/700 2026-08-08 12:50 by 布布和一二
[基金申请] 关于filecode +4 布布和一二 2026-08-07 7/350 2026-08-07 22:55 by zhanghaozhu
[基金申请] 化学口download_prp&fileCode的固定段好像这几天一直没变，有变的大神么？ +3 Tide man 2026-08-07 4/200 2026-08-07 22:39 by Tide man
[基金申请] 固定端突然变了，今天 +6 archvillain 2026-08-06 10/500 2026-08-07 16:03 by 医学老男孩
[基金申请] 大家散了吧，后缀研究没有意义，别浪费时间了，过好目前的每一天，不要焦虑 +5 Tide man 2026-08-06 7/350 2026-08-07 13:11 by 医学老男孩
[基金申请] filecode +14 等待解的谜 2026-08-06 19/950 2026-08-07 12:20 by wlwhappy
[基金申请] filecode +8 布布和一二 2026-08-06 11/550 2026-08-06 20:41 by tangpu318
[基金申请] 求各位大神看下 100+6 hpkpkpkp 2026-08-05 33/1650 2026-08-06 14:49 by zhiyanjiang
[基金申请] 纯娱乐，不喜欢勿喷 +7 Tide man 2026-08-04 10/500 2026-08-04 15:10 by loufangrui
[基金申请] 面上提前没消息，有中的吗 +14 archvillain 2026-08-02 18/900 2026-08-04 14:42 by archvillain
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭