2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-11-07 22:49:49
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。

4楼: Originally posted by jkcls at 2012-11-09 10:19:05
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀 ...

6楼: Originally posted by digghost at 2012-11-11 18:45:09
镀膜之后表面弯曲这是正常的现象，这说明你镀的膜当中有很强的应力，你应该断断续续的镀膜，镀2分钟停10分钟，10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功，我以前就是在si上镀cu 结过si弯了，用了这 ...