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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办
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simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办

大概有50um厚度的陶瓷片
想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极
结果溅射完发现陶瓷都卷曲了
该怎么处理？
用kapton胶带？双面胶？
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1楼 2012-11-07 21:45:58
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。
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2楼2012-11-07 22:49:49
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simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-11-07 22:49:49
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。

我觉得是因为温度过高导致的形变，加之它本身又有压电效应，局部变形导致表面电压分布不均，然后就卷曲变形了
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3楼2012-11-08 01:43:27
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jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀膜要高，所以镀膜会减小这种情况；
三，可以试一下双面同时溅射

如能找到原因加以解决希望和我交流一下。
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4楼2012-11-09 10:19:05
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simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
4楼: Originally posted by jkcls at 2012-11-09 10:19:05
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀 ...

嗯，实在不行再蒸镀吧。
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5楼2012-11-10 04:07:42
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digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

镀膜之后表面弯曲这是正常的现象，这说明你镀的膜当中有很强的应力，你应该断断续续的镀膜，镀2分钟停10分钟，10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功，我以前就是在si上镀cu 结过si弯了，用了这种方法就好了。
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呵呵了
6楼2012-11-11 18:45:09
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simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
6楼: Originally posted by digghost at 2012-11-11 18:45:09
镀膜之后表面弯曲这是正常的现象，这说明你镀的膜当中有很强的应力，你应该断断续续的镀膜，镀2分钟停10分钟，10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功，我以前就是在si上镀cu 结过si弯了，用了这 ...

哦，我就怕加热后陶瓷退极化了，算了，不行再极化好了。谢谢哈，回头我试一下。
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7楼2012-11-14 23:57:03
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枫翼ljj

木虫 (著名写手)
楼主50um的陶瓷怎么制备？

发自小木虫Android客户端
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8楼2017-09-22 01:44:49
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