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simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办

大概有50um厚度的陶瓷片
想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极
结果溅射完发现陶瓷都卷曲了
该怎么处理?
用kapton胶带?双面胶?
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digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

镀膜之后表面弯曲这是正常的现象,这说明你镀的膜当中有很强的应力,你应该断断续续的镀膜,镀2分钟停10分钟,10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功,我以前就是在si上镀cu 结过si弯了,用了这种方法就好了。
呵呵了
6楼2012-11-11 18:45:09
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wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
关键是分析为什么会弯曲,是因为温度高,还是表面张力,等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。
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2楼2012-11-07 22:49:49
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simplejane

铜虫 (小有名气)

引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-11-07 22:49:49
关键是分析为什么会弯曲,是因为温度高,还是表面张力,等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。

我觉得是因为温度过高导致的形变,加之它本身又有压电效应,局部变形导致表面电压分布不均,然后就卷曲变形了
3楼2012-11-08 01:43:27
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jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与,应助指数 +1
楼上的说法我觉的有误,一般情况下这时候陶瓷还没极化,没有压电效应,除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过,一是和材料有关,同样厚度的材料有些会弓,有些不会;
二,个人认为溅射时的温度和功率比镀膜要高,所以镀膜会减小这种情况;
三,可以试一下双面同时溅射

如能找到原因加以解决希望和我交流一下。
4楼2012-11-09 10:19:05
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