应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办
51/1返回列表
查看: 1379  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办

大概有50um厚度的陶瓷片
想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极
结果溅射完发现陶瓷都卷曲了
该怎么处理？
用kapton胶带？双面胶？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2012-11-07 21:45:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

digghost

木虫 (著名写手)

【答案】应助回帖

镀膜之后表面弯曲这是正常的现象，这说明你镀的膜当中有很强的应力，你应该断断续续的镀膜，镀2分钟停10分钟，10分钟的间隔内加热将应力释放掉。祝你成功，我以前就是在si上镀cu 结过si弯了，用了这种方法就好了。
赞一下 回复此楼
呵呵了
6楼2012-11-11 18:45:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。
赞一下 回复此楼
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
2楼2012-11-07 22:49:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-11-07 22:49:49
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。

我觉得是因为温度过高导致的形变，加之它本身又有压电效应，局部变形导致表面电压分布不均，然后就卷曲变形了
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-08 01:43:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀膜要高，所以镀膜会减小这种情况；
三，可以试一下双面同时溅射

如能找到原因加以解决希望和我交流一下。
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-09 10:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[基金申请] 时间戳又变了8-15 +10 archvillain 2026-08-15 18/900 2026-08-15 17:21 by 医学老男孩
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 P4JhWrbJGjSe 2026-08-14 5/250 2026-08-15 15:46 by QXtWNz7PI7wZ
[硕博家园] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +3 7lpolszZVXgi 2026-08-14 3/150 2026-08-15 14:53 by QXtWNz7PI7wZ
[考研] 售SCI一区T0P文章，我:8.O55.1.O.54,科目全,可十急 +4 HFw0lei2R37i 2026-08-14 8/400 2026-08-15 14:41 by QXtWNz7PI7wZ
[基金申请] 有时候，自然基金真的不能太认真 （我的申报经验） +7 majunge000 2026-08-11 9/450 2026-08-15 13:34 by kiz2011
[博后之家] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +3 k0dTPqJtl0jt 2026-08-14 3/150 2026-08-15 12:41 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] 关于Filecode分析方法 +10 majunge000 2026-08-10 13/650 2026-08-15 12:26 by hanpeng972
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +4 7lpolszZVXgi 2026-08-14 8/400 2026-08-15 11:53 by KxMI1BYBxWX1
[考博] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-15 11:41 by KxMI1BYBxWX1
[基金申请] filecode +7 cratir 2026-08-14 11/550 2026-08-15 06:19 by 学员8dgXkO
[基金申请] 各位道友，我要去昆明玩几天，回来见。 +7 Tide man 2026-08-14 8/400 2026-08-15 01:11 by arzu_hma
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 HFw0lei2R37i 2026-08-14 5/250 2026-08-14 22:32 by 4wMiSEwB6436
[基金申请] 奇怪，两个人的filecode固定段从头到尾一模一样 +8 布布和一二 2026-08-10 11/550 2026-08-14 14:58 by Equinoxhua
[基金申请] 应该是93bebmhtak前后十一个字符比较关键 +23 Lanmanbaby 2026-08-09 37/1850 2026-08-14 13:40 by Equinoxhua
[基金申请] 我的国基提前知道中了，可是同事的操作让我实在接受不了，怎么会有这样的人 +10 家与远方 2026-08-10 15/750 2026-08-14 02:08 by 绵羊哥哥
[基金申请] 不应该看fileCode +7 且听虎啸 2026-08-12 9/450 2026-08-13 14:27 by flydreamws
[基金申请] 结合人工智能，周易传统文化，filecode打分制来了，3分以上希望很大。 +3 Tide man 2026-08-12 4/200 2026-08-13 08:35 by ZJTJZ
[基金申请] 综述论文作为代表作会不会影响评审专家的印象分？ +11 yufeiwaner 2026-08-09 13/650 2026-08-12 08:17 by yufeiwaner
[基金申请] 为什么网上很多人说本周 12号出结果 +6 瞬息宇宙 2026-08-10 7/350 2026-08-11 19:25 by Tide man
[基金申请] 确定了，国自然21号放榜 +6 布布和一二 2026-08-10 7/350 2026-08-10 19:15 by 2000zf36392
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭