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薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办
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大概有50um厚度的陶瓷片 想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极 结果溅射完发现陶瓷都卷曲了 该怎么处理？ 用kapton胶带？双面胶？ |
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3楼2012-11-08 01:43:27
wulishi8
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2楼2012-11-07 22:49:49
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4楼2012-11-09 10:19:05
5楼2012-11-10 04:07:42
