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薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办
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大概有50um厚度的陶瓷片 想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极 结果溅射完发现陶瓷都卷曲了 该怎么处理？ 用kapton胶带？双面胶？ |
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7楼2012-11-14 23:57:03
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