应《网络安全法》要求，自2017年10月1日起，未进行实名认证将不得使用互联网跟帖服务。为保障您的帐号能够正常使用，请尽快对帐号进行手机号验证，感谢您的理解与支持！

24小时热门版块排行榜    

小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 微米和纳米 » 微纳加工 » 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办
51/1返回列表
查看: 1413  |  回复: 7
只看楼主 @他人 存档 新回复提醒 (忽略) 收藏    在APP中查看
当前只显示满足指定条件的回帖，点击这里查看本话题的所有回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)

[求助] 薄的压电陶瓷溅射后弯曲怎么办

大概有50um厚度的陶瓷片
想在上面溅射一层100nm左右的Pt电极
结果溅射完发现陶瓷都卷曲了
该怎么处理？
用kapton胶带？双面胶？
回复此楼

» 猜你喜欢
1楼 2012-11-07 21:45:58
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

枫翼ljj

木虫 (著名写手)
楼主50um的陶瓷怎么制备？

发自小木虫Android客户端
赞一下 回复此楼
8楼2017-09-22 01:44:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答

wulishi8

专家顾问 (知名作家)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。
赞一下 回复此楼
中山大学材料学院招聘博士后和专职研究员，年薪20万起，请站内联系，谢谢。
2楼2012-11-07 22:49:49
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

simplejane

铜虫 (小有名气)
引用回帖:
2楼: Originally posted by wulishi8 at 2012-11-07 22:49:49
关键是分析为什么会弯曲，是因为温度高，还是表面张力，等等。只有找到原因才能知道怎么解决啊。

我觉得是因为温度过高导致的形变，加之它本身又有压电效应，局部变形导致表面电压分布不均，然后就卷曲变形了
赞一下 回复此楼
3楼2012-11-08 01:43:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

jkcls

木虫 (小有名气)

【答案】应助回帖

感谢参与，应助指数 +1
楼上的说法我觉的有误，一般情况下这时候陶瓷还没极化，没有压电效应，除非是做剪切振动模式的时候。
这种情况也遇到过，一是和材料有关，同样厚度的材料有些会弓，有些不会；
二，个人认为溅射时的温度和功率比镀膜要高，所以镀膜会减小这种情况；
三，可以试一下双面同时溅射

如能找到原因加以解决希望和我交流一下。
赞一下 回复此楼
4楼2012-11-09 10:19:05
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
查看全部 8 个回答
普通表情 龙 兔 虎 猫
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:25 by vZfe6xYu34yj
[硕博家园] 售一区SCI文章T0P，我:8O.551.O54,科目全,可十急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 3/150 2026-09-14 22:24 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:13 by vZfe6xYu34yj
[教师之家] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 5/250 2026-09-14 22:01 by vZfe6xYu34yj
[考博] 售SCI文章，我:8O5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:36 by vZfe6xYu34yj
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +4 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:33 by vZfe6xYu34yj
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 5/250 2026-09-14 21:25 by vZfe6xYu34yj
[考博] 上海工程技术大学激光智能制造课题组招收博士研究生 +4 两三岁ss 2026-09-14 4/200 2026-09-14 20:29 by 班主任的同桌
[考博] 售SCI一区T0P文章，我:8O.55.1.O.5.4,科目齐全,可+急 +3 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-14 17:49 by Aj1rhIDL5ixY
[考博] 售SCI一区文章，我:8O5.5.1.O5.4,科目全,可伽急 +4 s3fFTmArrBt6 2026-09-14 4/200 2026-09-14 17:25 by Aj1rhIDL5ixY
[公派出国] 售SCI-T0P文章，我:8O.5.5.1.O.54,科目齐全,可+急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 5/250 2026-09-14 16:25 by Aj1rhIDL5ixY
[教师之家] 售SCI一区文章，我:8.O.55.1.O.54,科目齐全,可伽急 +3 LwdutQ8HoqWP 2026-09-13 4/200 2026-09-14 16:13 by Aj1rhIDL5ixY
[考博] 售SCI文章，我:8O.5.5.1O.54,科目全,可十急 +4 3n8v2C8RimXI 2026-09-13 4/200 2026-09-14 15:37 by Aj1rhIDL5ixY
[找工作] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O.5.4,科目全,可+急 +5 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 6/300 2026-09-14 15:21 by Aj1rhIDL5ixY
[硕博家园] 售SCI一区T0P文章，我:8.O.55.1.O54,科目全,可伽急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 3/150 2026-09-14 15:09 by Aj1rhIDL5ixY
[考研] 售SCI一区文章，我:8.O.551.O.5.4,科目全,可伽急 +3 QUjhNVAcOSff 2026-09-13 3/150 2026-09-14 14:57 by Aj1rhIDL5ixY
[基金申请] 求教各位大神：2026教育部人文社科青年基金项目何时公示呀？ +5 云宴山人 2026-09-10 7/350 2026-09-14 12:11 by ecnu2013
[考博] 西北工业大学材料学院电化学传感与催化课题组招收2027年推免研究生、博士生、博士后 +3 马方园 2026-09-10 4/200 2026-09-14 09:29 by Chem张zz
[基金申请] 面上有专家说实验设备不是我们单位的 +6 zj_muchong 2026-09-08 8/400 2026-09-11 06:56 by suifengdao
[有机交流] 科研求助 10+4 我吃一只鱼 2026-09-07 4/200 2026-09-10 08:32 by 0940628
信息提示
关闭
请填处理意见
关闭