24小时热门版块排行榜    

查看: 1313  |  回复: 17

floljf

金虫 (正式写手)


[交流] 如何在溅射仪中引入水蒸气

诸位大虾,目前在材料的制备中需要引入H源,大家帮忙给些意见!

目前我是准备在溅射仪中引入水蒸汽,如何实现?水蒸汽的引入对后续设备的真空度的影响如何?有经验的大虾帮忙!

金币多多,发完了后续补充,请多多给建议!
回复此楼

» 收录本帖的淘帖专辑推荐

功能材料

» 猜你喜欢

» 本主题相关商家推荐: (我也要在这里推广)

» 抢金币啦!回帖就可以得到:

查看全部散金贴

已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
floljf: 金币+1 2012-11-01 12:11:48
为什么不用氢气?
只是做氢源的话不需要用水蒸气啊
3楼2012-11-01 10:16:56
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

forest_wong

金虫 (正式写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
floljf: 金币+1 2012-11-01 12:12:51
我是新手,但听说这样好像对真空设备的破坏比较大。泵也不太适应蒸气
4楼2012-11-01 11:06:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
3楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-11-01 10:16:56
为什么不用氢气?
只是做氢源的话不需要用水蒸气啊

H2存在一定的危险性啊,不怕一万就怕万一,所以考虑用水蒸气了
5楼2012-11-01 12:12:26
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
4楼: Originally posted by forest_wong at 2012-11-01 11:06:09
我是新手,但听说这样好像对真空设备的破坏比较大。泵也不太适应蒸气

你说的破坏体现在哪里呢?
6楼2012-11-01 12:12:48
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
★ ★ ★ ★ ★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
floljf: 金币+5 2012-11-01 16:45:14
蒋青松: 金币+1, 鼓励交流,可否在详细点呢,我可以给FPI的。 2012-11-02 07:57:12
千万别!你会把设备搞得一团遭的。
除非你能保证进入腔体的水蒸气不在腔体内冷凝,同时在工艺结束后能彻底抽走。这就意味着,你要保持腔体和外围零备件的温度,同时要保证管道都是热的。
另一方面,水蒸气的腐蚀性还是挺厉害的,你要确认你的设备能抗得住。而且,越热的水蒸气腐蚀性越强。
为什么不考虑用烷类呢?成为plasma后都是H啊。
7楼2012-11-01 16:00:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-01 16:00:09
千万别!你会把设备搞得一团遭的。
除非你能保证进入腔体的水蒸气不在腔体内冷凝,同时在工艺结束后能彻底抽走。这就意味着,你要保持腔体和外围零备件的温度,同时要保证管道都是热的。
另一方面,水蒸气的腐蚀性 ...

我也是看了外文的paper后有了此疑问,所以过来请教,感谢指教!

我也纳闷的是他们为何要引入水蒸气?以及是如何引入的?发了邮件也没有回!

烷类还有其他的元素的,譬如C,也还不清楚有什么影响。
此外也不清楚水蒸气的等离子体成份。
8楼2012-11-01 16:49:14
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-01 16:00:09
千万别!你会把设备搞得一团遭的。
除非你能保证进入腔体的水蒸气不在腔体内冷凝,同时在工艺结束后能彻底抽走。这就意味着,你要保持腔体和外围零备件的温度,同时要保证管道都是热的。
另一方面,水蒸气的腐蚀性 ...

你是做什么方向的?你所说的这些问题,可否提供一些出处?
9楼2012-11-01 16:50:42
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
floljf: 金币+2 2012-11-02 08:34:40
引用回帖:
9楼: Originally posted by floljf at 2012-11-01 16:50:42
你是做什么方向的?你所说的这些问题,可否提供一些出处?...

我做的方向很杂,而这一部分是包含在我做设备的部分里的。
你可以看一些关于ALD的资料,ALD里面的反映气最基本的就是水。但是ALD里面的腔体材料和sputter是不一样的。
在不了解设备的情况下改设备是很危险的。
10楼2012-11-01 18:16:04
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
你要做什么薄膜?帮你想想别的气源
11楼2012-11-01 20:32:33
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
10楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-01 18:16:04
我做的方向很杂,而这一部分是包含在我做设备的部分里的。
你可以看一些关于ALD的资料,ALD里面的反映气最基本的就是水。但是ALD里面的腔体材料和sputter是不一样的。
在不了解设备的情况下改设备是很危险的。...

这个可能也是的,有用MOCVD做ZnO的,氧源采用的就是水蒸汽,不知道是不是他们的设备腔体材料是否是特殊的呢
12楼2012-11-02 08:36:27
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)


★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
floljf: 金币+1 2012-11-02 20:15:15
引用回帖:
12楼: Originally posted by floljf at 2012-11-02 08:36:27
这个可能也是的,有用MOCVD做ZnO的,氧源采用的就是水蒸汽,不知道是不是他们的设备腔体材料是否是特殊的呢...

CVD与PVD差别很大,不能这样类比。ALD其实就是把CVD的反应在空间或时间上分割成两个半反应而已,归根到底还是CVD
13楼2012-11-02 09:32:45
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

ddx-k

荣誉版主 (著名写手)


★ ★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
floljf: 金币+2 2012-11-02 20:10:49
用个鼓泡器,用N气携源就可以了
14楼2012-11-02 09:32:59
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
11楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-11-01 20:32:33
你要做什么薄膜?帮你想想别的气源

氧化锡薄膜
15楼2012-11-02 20:14:44
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

bazhuayuyu

木虫 (著名写手)



小木虫: 金币+0.5, 给个红包,谢谢回帖
引用回帖:
15楼: Originally posted by floljf at 2012-11-02 20:14:44
氧化锡薄膜...

你用的是陶瓷靶还是金属靶
16楼2012-11-02 20:44:29
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖

floljf

金虫 (正式写手)


引用回帖:
16楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-11-02 20:44:29
你用的是陶瓷靶还是金属靶...

陶瓷靶,用金属靶必须要引入氧气。

不过,话说这种在溅射里面引入氧气和氢气的,危险性到底有多大?
17楼2012-11-03 08:06:09
已阅   回复此楼   关注TA 给TA发消息 送TA红花 TA的回帖
简单回复
wasxnbe2楼
2012-11-01 09:32   回复  
ppan2218楼
2013-02-01 17:32   回复  
相关版块跳转 我要订阅楼主 floljf 的主题更新
普通表情 高级回复 (可上传附件)
最具人气热帖推荐 [查看全部] 作者 回/看 最后发表
[考研] 309求调剂 +4 花与叶@ 2026-03-10 4/200 2026-03-14 21:26 by a不易
[考研] 297求调剂 +4 学海漂泊 2026-03-13 4/200 2026-03-14 11:51 by 热情沙漠
[考研] 学硕285求调剂 +13 Wisjxn 2026-03-12 46/2300 2026-03-14 10:33 by JourneyLucky
[考研] 337一志愿华南理工材料求调剂(有希望2吗?) +3 mysdl 2026-03-09 3/150 2026-03-14 02:53 by JourneyLucky
[考研] 材料与化工 一志愿山大 321分 求调剂 +7 每天散步 2026-03-09 8/400 2026-03-14 02:18 by JourneyLucky
[考研] 288求调剂 +14 王晓阳- 2026-03-09 19/950 2026-03-14 02:05 by JourneyLucky
[考研] 一志愿郑大070303,338分,求调剂 +4 dadawaf 2026-03-10 5/250 2026-03-14 01:20 by lsw010101
[考研] 311求调剂 +5 牛乳糖的卡卡 2026-03-10 5/250 2026-03-14 00:05 by JourneyLucky
[考研] 341求调剂 +4 番茄头--- 2026-03-10 4/200 2026-03-13 23:12 by JourneyLucky
[考研] 308求调剂 +5 是Lupa啊 2026-03-11 5/250 2026-03-13 22:13 by JourneyLucky
[考研] 求调剂 +5 一定有学上- 2026-03-12 5/250 2026-03-13 18:31 by ms629
[考研] 302求调剂 +6 负心者当诛 2026-03-11 6/300 2026-03-13 16:11 by JourneyLucky
[考研] 土木第一志愿276求调剂,科研和技能十分丰富,求新兴方向的导师收留 +3 土木小天才 2026-03-12 3/150 2026-03-13 15:01 by JourneyLucky
[考研] 070303一志愿西北大学学硕310找调剂 +3 d如愿上岸 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:56 by houyaoxu
[考研] 一志愿华中师范071000,325求调剂 +5 RuitingC 2026-03-12 5/250 2026-03-13 10:43 by hyswxzs
[考研] 290求调剂 +3 ADT 2026-03-13 3/150 2026-03-13 10:19 by peike
[考博] 26读博 +4 Rui135246 2026-03-12 10/500 2026-03-13 07:15 by gaobiao
[考研] 0857环境调剂 +5 熠熠_11 2026-03-10 5/250 2026-03-11 10:59 by wang_dand
[考研] 279求调剂 +3 莫xiao 2026-03-10 4/200 2026-03-11 08:06 by 斩魂滴兔子!
[硕博家园] 木虫好像不热闹了,是不是? +4 偏振片 2026-03-10 4/200 2026-03-10 09:51 by longwave
信息提示
请填处理意见