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floljf

金虫 (正式写手)

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[交流] 如何在溅射仪中引入水蒸气

诸位大虾，目前在材料的制备中需要引入H源，大家帮忙给些意见！

目前我是准备在溅射仪中引入水蒸汽，如何实现？水蒸汽的引入对后续设备的真空度的影响如何？有经验的大虾帮忙！

金币多多，发完了后续补充，请多多给建议！

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1楼 2012-11-01 09:13:53

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floljf

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引用回帖:

7楼: Originally posted by yswyx at 2012-11-01 16:00:09
千万别！你会把设备搞得一团遭的。
除非你能保证进入腔体的水蒸气不在腔体内冷凝，同时在工艺结束后能彻底抽走。这就意味着，你要保持腔体和外围零备件的温度，同时要保证管道都是热的。
另一方面，水蒸气的腐蚀性 ...

你是做什么方向的？你所说的这些问题，可否提供一些出处？