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[交流]
如何在溅射仪中引入水蒸气
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诸位大虾，目前在材料的制备中需要引入H源，大家帮忙给些意见！ 目前我是准备在溅射仪中引入水蒸汽，如何实现？水蒸汽的引入对后续设备的真空度的影响如何？有经验的大虾帮忙！ 金币多多，发完了后续补充，请多多给建议！ |
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