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小木虫论坛-学术科研互动平台 » 材料区 » 功能材料 » 设计与制备 » 如何在溅射仪中引入水蒸气
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floljf

金虫 (正式写手)

[交流] 如何在溅射仪中引入水蒸气

诸位大虾，目前在材料的制备中需要引入H源，大家帮忙给些意见！

目前我是准备在溅射仪中引入水蒸汽，如何实现？水蒸汽的引入对后续设备的真空度的影响如何？有经验的大虾帮忙！

金币多多，发完了后续补充，请多多给建议！
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1楼 2012-11-01 09:13:53
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floljf

金虫 (正式写手)
引用回帖:
3楼: Originally posted by bazhuayuyu at 2012-11-01 10:16:56
为什么不用氢气？
只是做氢源的话不需要用水蒸气啊

H2存在一定的危险性啊，不怕一万就怕万一，所以考虑用水蒸气了
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5楼2012-11-01 12:12:26
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bazhuayuyu

木虫 (著名写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
floljf: 金币+1 2012-11-01 12:11:48
为什么不用氢气？
只是做氢源的话不需要用水蒸气啊
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3楼2012-11-01 10:16:56
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forest_wong

金虫 (正式写手)
★ ★
小木虫: 金币+0.5, 给个红包，谢谢回帖
floljf: 金币+1 2012-11-01 12:12:51
我是新手，但听说这样好像对真空设备的破坏比较大。泵也不太适应蒸气
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4楼2012-11-01 11:06:09
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floljf

金虫 (正式写手)
引用回帖:
4楼: Originally posted by forest_wong at 2012-11-01 11:06:09
我是新手，但听说这样好像对真空设备的破坏比较大。泵也不太适应蒸气

你说的破坏体现在哪里呢？
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6楼2012-11-01 12:12:48
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