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XRD测量薄膜残余应力深度问题
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honghuyiba
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[交流]
XRD测量薄膜残余应力深度问题
文献中认为XRD测量的只是薄膜表层很薄一层的平面平均应力状态,但是对于薄膜样品怎样保证测量的深度是表层而非到达界面附近,有经验公式对这个深度进行估算吗?O(∩_∩)O谢谢!!!
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2012-10-25 21:27:23
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大水杯
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★ ★
honghuyiba(金币+1): 谢谢参与
lijunjie84: 金币+1, 感谢参与!
2012-10-30 10:34:38
对薄膜而言,内应力一般用Stoney公式计算
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2楼
2012-10-28 13:41:26
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honghuyiba
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2楼
:
Originally posted by
大水杯
at 2012-10-28 13:41:26
对薄膜而言,内应力一般用Stoney公式计算
高人能否再详细说一下好吗?O(∩_∩)O谢谢
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3楼
2012-10-29 19:51:02
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