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XRD测量薄膜残余应力深度问题
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| 文献中认为XRD测量的只是薄膜表层很薄一层的平面平均应力状态,但是对于薄膜样品怎样保证测量的深度是表层而非到达界面附近,有经验公式对这个深度进行估算吗?O(∩_∩)O谢谢!!! |
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